本发明公开了一种吸附力可调的智能静电卡盘控制方法，包括：步骤(1)：参数设置；步骤(2)：实时检测；步骤(3)：实际吸附力计算；步骤(4)：吸附力差值判定；步骤(5)：协同控制。本方法通过分级调节与多参数协同，解决了传统控制精度不足、响...

本发明公开了一种静电卡盘系统精密温度自适应补偿方法，包括：步骤(1)：输入静电卡盘系统原始数据B；步骤(2)：数据预处理与分区；步骤(3)：多物理场特征分解；步骤(4)：时空尺度划分；步骤(5)：自适应补偿网络训练；步骤(6)：补偿策略...