本发明属于同位素技术领域，公开了一种高丰度硅烷同位素的制备方法，包括以下步骤：步骤1，将氢化铝钠粉末按质量浓度7%~10%将氢化铝钠溶于溶剂中，装入反应釜内；步骤2，将反应釜的进气端与装有四氟化硅‑28气体的容器相连接，所述反应釜的出气...