中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明涉及一种量子干涉探测芯片,包括耦合光栅、输入定向耦合器、光栅模式分束器、输出定向耦合器和超导纳米线单光子探测器,耦合光栅用于将片外由自发参量下转换产生的纠缠光子对分别耦合进片上输入定向耦合器的两个输入端口;输入定向耦合器用于将输入...
  • 本发明提供一种基于液滴微流控技术的微流控芯片及其检测方法,采用螺旋形分散相进液通道利用惯性聚焦原理可将细胞单分散,使其前后均匀排布于通道内,利于形成高包裹率的单细胞液滴;另外,使分散相进液通道与连续相进液通道交汇呈“十”字交叉,形成十字...
  • 本发明涉及一种带滤波功能的低温传输线,包括自上而下设置的顶层金属、中间介质层和底层金属,所述中间介质层的上表面上设有若干宽度不同且间隔不同的金属块,所述若干金属块通过所述顶层金属进行级联。本发明能够降低整条传输线路的损耗,并保持连续性。
  • 本发明提供一种复合异质集成半导体结构、半导体器件及制备方法,可集成具有不同功能、不同特性的材料层,实现复合异质集成,且根据不同材料层所具有的特点,从而可发挥各材料层的不同优势,以获得高质量、高性能的半导体器件;进一步的,半导体单晶晶片可...
  • 本发明提供一种在片多参数测量装置,包括:毫米波测试系统;合路器,两个输入端分别连接毫米波测试系统的两个测试输出端,将多频段的测试信号施加至探针台;探针台;BDC组件,射频输入端连接探针台的输出端,射频输出端连接毫米波测试系统的测试输入端...
  • 本发明提供一种GaN基HEMT器件的制备方法,可以将自支撑GaN单晶衬底上同质外延的高质量AlGaN/GaN结构转移至支撑衬底,在简单处理去除表面的残留层后,生长源、漏、栅电极即可获得高性能的GaN基HEMT器件;自支撑GaN单晶衬底没...
  • 本申请公开了一种用于新型冠状病毒检测的引物探针组合、试剂盒及方法,本申请的引物探针组合如SEQ ID NO.1‑9所示,利用本申请的引物探针组合能够检测新型冠状病毒核酸的ORF1ab基因片段和N基因片段,从而可以实现新型冠状病毒的精确检...
  • 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法,包括:(111)单晶硅衬底;与衬底相连接的隔热薄膜,且共同围成一个隔热腔体;加热元件;一对呈“<>”状的热电堆,位于隔热薄膜下表面且对称分布于加热元件两侧,每个热电堆尖端处...
  • 本发明涉及半导体材料制备领域,本发明公开了一种异质结构薄膜衬底的制备方法。该制备方法的具体步骤如下:提供临时键合连接的第一压电衬底和第二压电衬底,该第一压电衬底设于该第二压电衬底上;向该第一压电衬底进行离子注入,经过离子注入后的第一压电...
  • 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制造方法,包括:(111)单晶硅衬底;与衬底相连接的隔热薄膜,且共同围成隔热腔体;加热元件;一对呈“amp;lt;amp;gt;”状且对称分布于加热元件两侧的热电堆,每个热电堆尖端处两条轮廓线的...
  • 本发明涉及一种基于Y分支对称结构的硅基马赫曾德尔干涉仪,包括输入Y分支波导和输出Y分支波导,所述输入Y分支波导和输出Y分支波导的结构相同,所述输入Y分支波导的第一输出端通过第一直波导与输出Y分支波导的第一输入端相连;所述输入Y分支波导的...
  • 本发明涉及一种基于信物模型的智能传感器自适应配置方法,包括以下步骤:从云端获取被检测设施系统的物理数据模型和智能传感器点位信息,建立设施系统信息物理模型;基于设施系统信息物理模型和云端下发的异常判决准则建立异常识别业务模块;通过异常识别...
  • 本发明提供一种激光器,包括:具有能量由低到高的基态、中间态及激发态的介质;用于将介质中的电子从基态激发至所述中间态的激励系统;用于将介质中处于不同空间位置的中间态的电子以固定的位相关系通过受激辐射过程退激至基态,发出相对波长更短的激光的...
  • 本申请涉及量化卷积神经网络的生成方法、装置、设备或存储介质,该方法包括:获取已训练的全精度卷积神经网络和待训练的量化卷积神经网络;基于已训练的全精度卷积神经网络,对待训练的量化卷积神经网络进行循环迭代,得到已训练的量化卷积神经网络;在每...
  • 本申请公开了一种有机场效应晶体管气体传感器及其制备方法,所述有机场效应晶体管气体传感器包括绝缘层、气敏材料层、栅电极、源极和漏极;所述绝缘层形成于所述栅电极之上;所述气敏材料层用于与被检测气体反应,所述气敏材料层设于所述绝缘层上方;所述...
  • 本申请公开了一种键合结构中的薄膜晶圆和剩余晶圆的分离方法,包括:获取包括第一晶圆和第二晶圆,注入离子到第二晶圆,从而在第二晶圆的内部形成缺陷层;沿第二晶圆的注入面与第一晶圆进行键合,形成键合结构;将键合结构置于晶圆花篮中,第一晶圆位于第...
  • 本发明提供一种双面超表面结构的制备方法,包括:提供呈镜像关系标记的第一光刻板及第二光刻板,且标记具有正反对准、正反偏移误差测量及下一工艺步骤对准的功能;提供衬底,并将呈镜像关系标记的图形分别转移至衬底两面,得到第一衬底样品;筛选出偏移误...
  • 本申请涉及一种目标追踪方法和仿生视觉装置,该方法包括:获取当前帧的第一图像;第一图像是通过仿生视觉成像单元得到的;对第一图像进行对象位置检测,得到第一图像中对象的第一位置信息;基于第一位置信息确定第一追踪区域和特征区域;在下一帧的第一图...
  • 本发明涉及一种基于人眼视觉注意机制的仿生双眼目标识别与跟踪方法,包括:仿生双眼装置对当前场景进行检测;构建实例级分割网络、和显著性注视点检测网络以及人体姿态检测网络;将当前场景的图像信息输入所述实例级分割网络,得到当前场景下的实例级分割...
  • 本发明提供一种无损耗光纤引入真空保护装置及真空设备。保护装置包括紧固螺帽、弹性密封塞、管状接头、金属软管及保护内管;弹性密封塞一端嵌设于管状接头内,另一端嵌设于紧固螺帽内,管状接头部分嵌设于紧固螺帽内且两者螺纹配合;保护内管穿过紧固螺帽...