一种梁膜分体结构谐振梁压力传感器，由上下两硅片组成。上硅片制作谐振梁，下硅片制作压力膜。两硅片键合成一个整体，压力膜感受到的外加压力传递到谐振梁上，改变梁的轴向机械应力，从而影响梁的固有谐振频率，通过检测谐振频率的变化实现压力测量。本发...

一种梁膜一体结构谐振梁压力传感器芯片及制造方法，特点是在单一硅片正面制作谐振梁在背面制作压力敏感膜，谐振梁由两个半岛结构支撑，通过多孔硅牺牲层技术实现，材料选用低应力厚氮化硅。这样不仅简化微谐振式压力传感器的制作工艺，而且提高了压力灵敏...

一种聚合材料气压传感器芯片，其特征在于，在基片上有一密封盒体，盒体顶部中间位置有一聚合材料薄膜，其侧边有一台阶，台阶上有上焊盘，密封盒体的另一侧边有下焊盘；基片与密封盒体之间有一空腔，空腔为微腔，内充有空气；空腔底面有下电极，顶面有上电...

一种新型的全波段快响应激光功率计，在阳极氧化铝片上，面向入射光的吸收面上涂有石墨乳剂．在受光面的背面用真空蒸镀的方法镀上十五对热电偶，接上放大电路．可以做成测量毫瓦级到几十瓦级的激光功率计．本功计的率响应时间＜１秒，灵敏度高１８ｍＶ／Ｗ...

表面等离子体谐振测试仪，包括控制系统、光学系统、机械运动结构、角度信号处理电路、光信号处理电路，所说的机械运动结构包括光学平台２，安装在光学平台上的连杆组３，螺杆６一端接有滑块４，另一端与电机７连接，在滑块４下有一导轨５，拉杆９一端连接...

本发明公开一种基于微电子机械的微结构谐振式传感器，由两个微扭摆谐振器并列放置，微扭摆谐振器上有检测用敏感层膜，另一微扭摆谐振器上有差分检测的非敏感层膜。每个微扭摆谐振器由摆轴和分布在摆轴两边的摆片组成，摆片上布置电磁激励线圈和拾振线圈。...

全自动电脑开水器采用电磁阀、单个强力磁水器、一体化高低水位开关、微电脑智能控制器、温度传感器和水箱体加热元件的有机组合，改进电热开水器的进水控制系统和电气系统。整个系统由微电脑进行监控，使得预置烧水时间和烧水温度、自动检测、自动进水、自...

一种子母喷灯，其特征在于子灯管放在母灯管的中心，在子灯和母灯的通气管内分别有子灯灯芯和母灯灯芯，在母灯灯芯的后面放置有过滤网，子灯灯管和母灯灯管分别接有两个气体阀。

一种高效节能冷光灯灯具包括框架１１，固定在框架１１上的提梁１０，安装在灯座２４上的冷光源７，固定在框架１１上的反射器８，反射器８是椭球对称旋转，凹表面是锥截平面。本实用新型光效高、光质好，有效光通量获得充分利用，特别适合舞台照明和影视新...

本发明公开了一种可以自吸的新型微型泵，有效地解决周期性波动、流量不稳、不能自吸、以及不能用于气体工作物质等问题，使输出流量稳定、连续可调、完全自吸，而不需要注样，既可以用于液体工作物质，也可以用于气体工作物质，扩大了微泵的使用范围，提高...

一种井下射频电磁采油系统，由地面馈电系统、抽油系统和井下射频系统组成。本发明不使用射频传输线传送能量，所以射频损耗降低，用电量也大大减少。同时本系统与现有完井、固井兼容，施工安装容易。

本发明提供一种不被镍置换的镀金溶液，当镀化学镍的基体不通直流电时，基体在镀金溶液中不会置换出结合力不好的金层，从而可提高在镀化学镍基体上镀金层的键合力。本发明的水基镀金溶液含有：氰化亚金钾、磷酸盐、亚硫酸盐、草酸盐，和任选的氰化钾、ＥＤ...

本发明提供一种镀多层镍工艺，其利用多波形电镀电源，采用一种镀镍溶液在单个电镀槽中进行电镀。其所用的镀镍液可以是瓦特镀镍液，半光亮镀镍液或光亮镀镍液。本发明的镀多层镍工艺不仅工艺简单，节约成本，而且所得镀镍层的抗腐蚀能力和抗疲劳强度都得到...

一种纯铁防腐工艺，将表面光滑、无缺损、无孔洞、边缘无粗糙划痕的纯铁清洗表面，在纯铁表面直流镀一层２０－２５μｍ金属镍，氢气炉中升温至８００℃后以５０－８０℃／小时的速度升温至９２０－９３０℃，保温３－５小时，以５０－８０℃／小时的速度降...

本发明在电真空器件中电镀堵漏的方法，涉及电真空器件技术领域，特别是一种保持电真空器件的真空度的方法。该方法包括：ａ）准备器材：电镀液、电镀电源、白金丝和脱脂棉；ｂ）确定电真空器件漏孔的位置；ｃ）用有漏孔的电真空器件作阴极，用脱脂棉棒沾电...

一种低应力超厚氮硅化合物薄膜沉积方法。源为氩气稀释的ＳｉＨ↓［４］，浓度为１－３０％；硅烷的流量为１．５－６Ｌ／ｍｉｎ；氨气的流量为０．０１－０．２Ｌ／ｍｉｎ；生长温度为７５０℃－１０００℃；硅烷和氨气的比例为２５∶１－１２０∶１；真空...

一种白宝石的多弧离子镀金属化，其特征在于，利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化。

本发明一种制备钨海绵体的方法，属于微波电真空器件制造技术，包括对市售钨粉进行真空炉低温预烧除气，钨粉灌装和冷等静压制备钨坯，氢炉低温烧结钨坯，粗车，氢炉高温烧结钨坯，氢炉中对钨坯浸铜获得钨铜棒，精车钨铜棒，化学法和高频法去除钨铜件中的铜...

ＤＮＡ－ＰＣＲ生物芯片及微型热循环器主要由两大部分组成。一部分是由ＭＥＭＳ工艺在硅片上制作的微井式反应室、集成铂电阻加热子和温度传感器于一体，并且封装在ＰＣＢ板上构成的生物芯片；另一部分是由前级信号处理电路，单片机，显示器等组成的微型热...

具有多层复合结构微热盘的ＰＣＲ扩增器，包括电极金属压焊点（１、１ａ）、氮化硅薄膜（２）、多晶硅加热电阻（３）、测温电阻（４）、二氧化硅层（５）、进样孔（６）、玻璃盖板（７）、排气孔（８）、硅衬底（９）、微槽（１０）、微反应室（１１），还...