本发明涉及晶圆生产技术领域，具体提供一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法，装置包括底座、总支架、传输机构、抛光机构、出浆机构以及清洁机构，总支架固接于底座顶壁，传输机构、抛光机构、出浆机构以及清洁机构均设于总支架上。本发明可实现传动槽的间歇性...

本发明属于半导体制备技术领域，具体公开一种硅通孔的形成方法，包括以下步骤：提供形成有用于形成硅通孔的凹槽的半导体衬底；在所述硅通孔的凹槽内侧形成镀铜薄膜；在所述镀铜薄膜上沉积钨和锆的氧化物薄膜，在所述氧化物薄膜表面铺设纳米磷酸钒锂，热处...

本发明涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种防漏电抗辐射CMOS器件及其制备方法，制备方法包括如下步骤：（1）制备改性密胺树脂溶液：称取改性微球加入至预聚密胺树脂溶液内，同时加入聚乙二醇（PEG‑400），升温至85‑95℃，保温搅拌1‑...

本发明涉及基因测序显微成像技术领域，具体提供一种多色荧光显微成像系统、成像方法、自动聚焦方法，通过使用被测物的反射激光照明场成像作为光学检焦信号，并通过系统内置的探测器进行收集。通过提取梯度峰位置间距特征确定被测物的离焦量，并为显微镜的...

本发明涉及超精密位移监测技术领域，尤其涉及一种纳米级单自由度位移监测装置；纳米级单自由度位移监测装置包括基板、监测系统、气流隔绝罩、主动隔振平台以及激光器；监测系统安装在基板上；气流隔绝罩用于隔绝外界气流，气流隔绝罩将基板和监测系统整体...

本发明涉及波前传感检测技术领域，尤其涉及一种大动态范围多模态光场波前传感系统及波前传感方法，方法包括：通过稀疏孔径望远镜接收物体的入射光束并输出至分光镜分出两束光，两束光分别通过反射镜的反射入射至各自对应的微透镜阵列，经微透镜阵列分成不...

本发明涉及半导体器件技术领域，具体公开了一种基于4H‑SiC衬底的高性能CMOS器件，包括4H‑SiC衬底、NMOS沟道、PMOS外延层、PMOS沟道、NMOS欧姆电极和PMOS欧姆电极，本发明的基于4H‑SiC衬底的高性能CMOS器件...

本发明涉及半导体领域，涉及一种低温多晶硅薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1，准备玻璃基板作为衬底，表面清洗后，在烘箱内干燥；步骤2，制备硅化铜多孔微球，并与硅溶胶混合形成复合液；步骤3，在衬底上涂覆复合液，经过一定温度的处理后，形成复...

本发明涉及半导体领域，涉及一种多晶硅薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1，准备硅片作为衬底，对衬底进行超声清洗后，干燥备用；步骤2，在衬底上涂覆活性液，经过一定温度的处理后，形成活性层；步骤3，将衬底制备有活性层的一面使用激光加热处理，...

本发明涉及蠕变补偿技术领域，尤其涉及一种基于实时数据拟合的电阻应变式传感器蠕变补偿方法，在电阻应变式传感器蠕变公式除参数外已知的情况下，以仿真参数所对应的蠕变公式输出曲线与真实曲线之间的均方差作为目标函数值，利用种群优化算法实时对蠕变公...

本发明涉及光谱仪器技术领域，尤其涉及一种基于双目立体干涉成像光谱仪的图谱处理方法，双目立体干涉成像光谱仪采集多维干涉数据立方体，所述图谱处理方法包括解耦流程和重构流程；所述解耦流程包括多维数据解耦流程；所述重构流程包括三维空间信息重构流...

本发明涉及光电工程技术领域，具体提供一种便携式两轴电动指向机构，其包括：伺服控制与数据处理系统用于测量底座的架设倾斜角，并对架设倾斜角进行姿态解算，通过发送运动指令并驱动俯仰旋转轴、方位旋转轴运动，从而修正因底座倾斜带来的指向误差；力矩...

本发明涉及真空环境模拟试验设备技术领域，尤其涉及一种超大型空间环境模拟装置的真空容器大门，真空容器大门为圆形；真空容器大门包括面板、法兰、加强筋和三角筋；面板与法兰构成真空容器大门的主体，法兰的内直径与面板的直径一致；面板为凹球面型结构...

本发明涉及半导体技术领域。本发明提供了一种基于AlScN铁电调控的GaN基场效应晶体管及其制备方法。本发明的场效应晶体管，介质层为AlScN铁电介质层，AlScN做为首个氮化物铁电材料，介电常数比传统氧化物绝缘栅高1个数量级，可以在低偏...

本发明涉及光电成像技术领域，尤其涉及一种抗高强度振动的多滤光片切换装置，包括滤光片载体、电机、霍尔传感器支撑架、永磁铁和滤光片；其中，电机控制滤光片载体的转动方向和转速；滤光片均匀布置在滤光片载体上；永磁铁固定在滤光片载体的边缘；霍尔传...

本发明涉及一种低照度灰度图像增强与去噪方法，包括：根据输入的低照度灰度图像构建一幅最优曝光比例图像；采用LatLRR方法对所述低照度灰度图像和所述最优曝光比例图像进行分解得到低秩部分和显著部分；根据得到的低秩部分和显著部分，构建低秩部分...

本发明涉及散射介质成像领域，尤其涉及一种自适应相干层析功能成像方法，包括调校阶段：宽带光源发出参考光和调校光，调校入射至待测样品，携带样品信息的信号光被分为透射信号光和反射信号光，反射信号光输入神经网络得到目标波前，变形镜根据目标波前对...

本发明属于图像识别技术领域，公开了一种基于CIS的圆柱体表面检测方法、装置及存储介质，方法包括：S1，将圆柱体的两个端面中的任一个作为基准平面，控制CIS传感器的位置，使得CIS传感器所在的平面平行于圆柱体的轴线；S2，改变CIS传感器...

本发明涉及光谱仪设计技术领域，尤其涉及一种超大温差无热化甚长波红外成像光谱仪系统。沿光路方向依次包括入射窗口单元、望远镜组、狭缝、分光镜组、成像单元；所述入射窗口单元包括依次设置的第一平面窗口玻璃、第二平面窗口玻璃和孔径光阑，光线由入射...

本发明公开了一种多自由度光路调整组件，属于光路调整机构技术领域。该多自由度光路调整组件其结构主要包括X向位移组件、Y向位移组件、RX及RY倾斜组件；X向位移组件实现X向位移功能；Y向位移组件实现Y向位移功能；RX及RY倾斜组件实现RX及...