本发明提供了一种激光退火工艺的监控方法及监控晶圆，包括：提供P型硅晶圆，对P型硅晶圆的表面执行离子注入工艺形成N型轻掺杂层；在N型轻掺杂层上形成金属层；执行激光退火工艺，以在离子注入层和金属层的界面反应形成金属合金层；去除未反应的金属层...