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浙江熙芯微电子科技有限公司专利技术
浙江熙芯微电子科技有限公司共有3项专利
一种衬底硅栅控制的新型场效应晶体管及制作方法技术
本发明涉及一种衬底硅栅控制的新型场效应晶体管,包括上层硅材料、下层硅材料,上层硅材料与下层硅材料之间设有氧化层作为器件的栅氧化层,其特征在于:背栅衬底设置于上层硅材料中,器件的源漏区制作在背栅衬底中,下层硅材料作为栅极来控制背栅衬底的沟...
一种垂直场效应晶体管的制作方法及垂直场效应晶体管技术
本发明涉及一种垂直场效应晶体管的制造方法与垂直场效应晶体管,该方法包括如下步骤:步骤1:在N型掺杂衬底上生长N型外延层;步骤2:生长厚氧化层并刻蚀出有源区,步骤3:垫积多晶硅、刻蚀多晶硅形成CELL区的多晶硅栅;步骤4:通过自对准注入P...
一种双电极复合结构的桥堆续流二极管制作方法及二极管技术
本发明涉及一种双电极复合结构的桥堆续流二极管制作方法,包括以下步骤:第一步,在重掺杂的P型衬底上形成一层轻掺杂的P型外延硅或者在重掺杂的N型衬底上形成一层轻掺杂的N型外延硅;第二步,在P型外延硅上形成一层N型硅或者在N型外延上形成一层P...
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