本发明提出了一种BOE废液在线再生的方法，包括：BOE废液与氨或碱反应；再经过双极膜电渗析膜组处理；浓缩并精制为超纯氨水；将氢氟酸稀液蒸馏提浓后，与超纯浓硫酸混合，得到氟化氢气体和稀硫酸；稀硫酸用电渗析分离为超纯稀硫酸和废液，再经过加热...

本发明提出了一种利用BOE废液电渗析制备氟化氢的方法及装置，其方法包括：BOE废液与氨反应，生成氟化铵溶液；所述氟化铵溶液经过双极膜电渗析分解为氢氟酸稀液和稀氨水；之后处理得到浓氨水，所述氨部分回用；将所述氢氟酸稀液蒸馏提浓后，与浓硫酸...

本发明涉及一种全自动配制混合酸液的装置，采用全自动智能酸液浓度计、若干用于储存酸液的原料桶槽、酸液混配槽、纯水进料接口或纯水储罐、酸液输送泵、计量元件、混配酸液输送泵和操作控制系统；一个所述的全自动智能酸液浓度计用于测定原始酸液浓度，另...

本发明涉及一种全自动智能酸液浓度计，用于混合酸液的浓度在线检测，包括取样机构、滴定机构、试剂系统、温控系统、图像采集系统和控制系统，所述控制系统用于根据图像采集系统采集的图像信息确定滴定终点，并计算出酸液浓度。本发明可以对高腐蚀酸液单酸...

本发明提出了一种BOE废液制备氟化氢的方法及装置，其中方法包括：BOE废液与碱反应，生成氟化盐溶液和氨水；汽提蒸出氨气；所述氟化盐溶液经过双极膜电渗析分解为氢氟酸稀液和稀碱液；所述稀碱液加热浓缩为浓碱液和废水，所述浓碱液回用；所述氢氟酸...

本发明提出了一种玻璃薄化废酸液再生回收的方法及系统，其方法包括：玻璃薄化废酸液在浓硫酸作用下，氯化氢、四氟化硅、氟化氢、三氟化硼以气体状态逸出；冷凝所述氯化氢、四氟化硅、氟化氢、三氟化硼气体，得到氟化氢液体；未被冷凝的气体进入BF3吸收...

本发明提出了一种单冰晶石制备氟化氢的方法及其反应装置，其方法包括：将单冰晶石粉体与硫酸溶液混合，经过加热反应，生成氟化氢气体和反应液；所述反应液经过冷却和固液分离得到硫酸铝钠固体和硫酸分离液；所述硫酸分离液返回与单冰晶石粉体混合循环使用...

本发明提出了一种冰晶石制备氟化氢的方法，包括：将冰晶石粉体与浓度95％