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浙江吉进科技有限公司专利技术
浙江吉进科技有限公司共有13项专利
一种边缘研磨机的晶圆偏心补正测试装置制造方法及图纸
本技术公开了一种边缘研磨机的晶圆偏心补正测试装置,包括安装基板、立柱、弹性伸缩机构、支架、抵触滚轮以及直线位移传感器,所述立柱竖直安装在安装基板上,所述支架通过弹性伸缩机构安装在立柱的一侧水平移动,所述抵触滚轮安装在支架上转动,所述抵触...
一种边缘打磨机中砂轮主轴的可调安装结构制造技术
本技术公开了一种边缘打磨机中砂轮主轴的可调安装结构,包括安装基板、第一夹块、第二夹块、转动球头、主轴、传动轴以及砂轮头;基板上竖直贯穿设有通孔,通孔内安装有转动的传动轴;第一夹块与第二夹块滑动安装在安装基板的上表面,第一夹块与第二夹块之...
一种用于晶圆片的转移搬送装置制造方法及图纸
本技术公开了一种用于晶圆片的转移搬送装置,包括输送轨道、移动座、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头;移动座安装在输送轨道上移动;升降机构安装在移动座上升降;水平伸缩机构通过回转机构安装在升降机构的上端进行转动;搬运叉通过...
一种四轴联动的晶圆收纳机器人制造技术
本技术公开了一种四轴联动的晶圆收纳机器人,包括基座、安装架、多轴联动臂、旋转臂以及拾取叉;安装架固定安装于基座上;多轴联动臂在水平方向上可以进行多方向转动伸缩,多轴联动臂的一端通过升降机构安装在安装架上竖直移动;旋转臂水平设置,旋转臂的...
一种减薄机的晶圆厚度测量装置制造方法及图纸
本技术公开了一种减薄机的晶圆厚度测量装置,包括晶圆抓取装置、晶圆侧向夹持机构、X向移动机构、Y向移动机构、机台、C型支架、第一激光测距仪以及第二激光测距仪;晶圆抓取装置用于抓取晶圆给晶圆侧向夹持机构,晶圆侧向夹持机构从晶圆的侧边夹持晶圆...
一种晶棒清洗装置制造方法及图纸
本技术公开了一种晶棒清洗装置,包括清洗池,主动转动辊及从动转动辊通过升降机构安装在清洗池内,主动转动辊与从动转动辊位于同一水平面上平行且间隔设置,主动转动辊与从动转动辊均转动安装于升降机构上,主动转动辊通过第一电机驱动转动,毛刷辊平行设...
一种用于晶圆片边缘的打磨装置制造方法及图纸
本技术公开了一种用于晶圆片边缘的打磨装置,侧面打磨机构包括打磨头,打磨头上设有打磨槽,打磨头通过移动板安装在水平移动机构上移动并通过第一电机驱动转动;夹持旋转机构包括下夹持头,下夹持头通过第二电机驱动转动,下夹持头的上方同轴设有一上夹持...
一种对晶圆片进行减薄的磨削装置制造方法及图纸
本技术公开了一种对晶圆片进行减薄的磨削装置,包括机架,机架上设有旋转打磨台,旋转打磨台包括水平设置在机架上转动的旋转架,旋转架通过第一电机驱动转动,旋转架的两端以其转动中心对称设有两个打磨槽;升降支撑架在竖直方向上可伸缩设置,升降支撑架...
一种具有不同形状的功能按钮的半导体设备制造技术
本技术公开了一种具有不同形状的功能按钮的半导体设备,包括设备主体,所述设备主体上设有功能面板,所述功能面板上设有显示屏,以及功能面板上设有若干形状不同的功能按钮,将不同的功能按钮的形状设置为不相同,每一种形状对应一种功能,便于操作人员进...
一种用于晶圆片的振荡清洗装置制造方法及图纸
本技术公开了一种用于晶圆片的振荡清洗装置,包括清洗槽,所述清洗槽内设有清洗筐、滑轨机构以及往复机构,所述清洗筐通过往复机构在滑轨机构上往复滑动;所述清洗筐内通过若干纵横交错的隔板分隔为若干清洗室,所述清洗筐的侧壁、清洗筐的底部以及隔板上...
一种晶圆清洗固定装置及使用方法制造方法及图纸
本发明涉及晶圆清洗领域。本发明公开了一种晶圆清洗固定装置及使用方法,本发明要解决的问题是现有的固定装置多采用大小固定的模具来固定晶圆,需要储备大量的固定模具,且现有的固定装置在对晶圆进行固定时,需要依次将多个晶圆依次安装在指定的固定装置...
一种晶圆减薄机磨削装置制造方法及图纸
本发明涉及晶圆减薄机技术领域,且公开了一种晶圆减薄机磨削装置,包括底板,所述底板的端部固定连接有支架,所述支架的底部固定连接有支撑杆,所述底板的顶部固定连接有工作台,所述底板的顶部固定连接有限位架,所述限位架的中心固定连接有连接块,所述...
一种晶圆边缘研磨机研磨装置制造方法及图纸
本发明涉及晶圆边缘研磨机研磨技术领域,且公开了一种晶圆边缘研磨机研磨装置,包括设备外壳,设备外壳的顶部固定连接有固定台,设备外壳的底部中轴处固定连接有驱动电机。本发明通过设置打磨机构,当驱动电机的输出轴旋转带动输出转轴发生旋转,输出转轴...
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