本发明属于光学薄膜测量技术领域，具体涉及一种石英基底光学薄膜厚度的测量方法及系统。本发明包括获取石英基底的表面坐标模型，并将薄膜区域划分为平行测量区域与非平行测量区域；对所述两类区域分别执行平行测量与非平行测量，以获取共同构成原始厚度数...