本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种氮化硅粉体生产线，包括供料单元、反应单元、收料单元和循环水冷单元。所述供料单元包括硅粉投料机构、氮气制备增压装置和微波等离子预热器。所述反应单元包括悬浮反应器和保温冷却器。所述收料单元包括气粉分离...

本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器，包括氮气管道（100）、第一喷射器（101）、微波等离子火炬（102）、第二喷射器（103）、预热器壳体（104）和盘管（105）；所述第一喷射器上设有硅粉添...

本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种氮化硅粉体悬浮反应器，包括：炉管、炉壳、加热火炬和喷管；所述炉管的内腔由上至下依次分为加热区和反应区，炉管的上端固定有向下喷火的所述加热火炬，炉管的下端设有出料口；所述炉壳套设于炉管外部且炉管与炉...

本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于合成氮化硅粉体的悬浮反应器，包括：炉管、炉壳、加热火炬和喷管；炉管的分为吸热区、反应放热区和保温区，炉管的上端固定有加热火炬，炉管下端设有出料口；炉壳套设于炉管外部且炉管与炉壳之间设有保温棉；...

本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于氮化硅粉体合成的保温冷却器，包括外壳、冷却盘管和氮气冷却内壳、冷却氮气管道和氮气制冷器；外壳内分为保温段和冷却段；保温段又分为上下两区，氮气冷却内壳设于保温段下区，冷却氮气管道与氮气冷却内壳连...

本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于合成氮化硅粉体的反应系统，包括微波等离子预热器、悬浮反应器和保温冷却器。悬浮反应器包括炉管、炉壳、加热火炬和喷管；炉管内腔分为加热区和反应区，炉管的上端固定有加热火炬，炉管下端设有出料口；炉壳...

本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于氮化硅粉体合成的预热及保温冷却系统，包括微波等离子预热器和保温冷却器。微波等离子预热器包括氮气管道、第一喷射器、微波等离子火炬、第二喷射器、预热器壳体和盘管；第一喷射器与第二喷射器连接；微波等...

本发明涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于合成氮化硅粉体的反应系统，包括微波等离子预热器、悬浮反应器和保温冷却器。悬浮反应器包括炉管、炉壳、加热火炬和喷管；炉管内腔分为加热区和反应区，炉管的上端固定有加热火炬，炉管下端设有出料口；炉壳套设...

本发明涉及氮化硅制备领域，公开了一种氮化硅粉体生产线，包括供料单元、反应单元、收料单元和循环水冷单元。所述供料单元包括硅粉投料机构、氮气制备增压装置和微波等离子预热器。所述反应单元包括悬浮反应器和保温冷却器。所述收料单元包括气粉分离器、...

本发明涉及氮化硅制备领域，公开了一种氮化硅粉体悬浮反应器，包括：炉管、炉壳、加热火炬和喷管；所述炉管的内腔由上至下依次分为加热区和反应区，炉管的上端固定有向下喷火的所述加热火炬，炉管的下端设有出料口；所述炉壳套设于炉管外部且炉管与炉壳之...

本发明涉及氮化硅制备领域，公开了一种氮化硅粉体的制备方法，包括：1）设备预热；2）物料加热：分别将硅粉和氨气的混合物、氮气通入微波等离子预热器的盘管内混合预热至700‑750℃，然后将物料通入悬浮反应器内腔的加热区内继续加热；同时向加热...