本发明涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种产品附着均匀的化学气相沉积设备，其包括化学气相沉积镀膜箱和均匀进气系统，均匀进气系统包括一级均匀混气组件、二级均匀混气组件和三级均匀混气组件；一级均匀混气组件包括收口筒，收口筒上端螺接安装有第二结...

本申请涉及化学气相沉积设备领域，公开了一种用于化学气相沉积设备的加热装置和化学气相沉积设备，其中的用于化学气相沉积设备的加热装置包括竖轴，所述竖轴的底端固定安装有横梁。本申请具有以下优点和效果：便于电阻加热器、感应加热器、红外加热器三种...