本发明公开了一种基于1:1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统，光刻系统包括扫描工作台、平面驱动机构、用于放置掩模的掩模工作台、用于放置基板的基板工作台、光学系统，且掩模工作台与基板工作台相对位置保持不变；平面驱动机构被配置为...

本发明公开了一种倍率可调的投影成像光学系统及光刻设备，从物面至像面方向上依次设置有第一镜组、孔径光阑和第二镜组，柱面透镜组设置在物面与第一镜组之间，或者柱面透镜组设置在像面与第二镜组之间，柱面透镜组由具有正光焦度的第一柱面透镜和具有负光...

本发明公开了一种用于光刻投影的光学镜头及具有其的光刻投影设备，镜头具有光焦度的透镜为由物方到像方的方向依次设置的第一透镜至第十透镜，第一透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜的物方光轴位置呈凸面结构，其像方光轴位置呈凹面结构；第二透镜、第九...

本发明涉及光刻工艺技术领域，具体涉及一种基于图像处理的多晶层光刻工艺热点检测方法，通过获取光刻图像对应的灰度图像，并确定灰度图像中每种灰度级对应的目标区域，进而确定灰度图像中每种灰度级对应的权重；根据灰度图像中每种灰度级对应的概率值和权...

本发明涉及图像处理技术领域，具体涉及一种光刻掩模的缺陷智能识别方法，包括：采集光刻掩模灰度图像，获取每个灰度值的类间方差，根据类间方差筛选标准分割阈值，利用修正系数对标准分割阈值进行修正得到第一分割阈值，对光刻掩模灰度图像进行初次分割，...

本发明涉及图像差异分析技术领域，具体涉及一种光刻图像的在线自动生成方法

本发明公开了一种显微镜物镜仿真设计方法及20倍长工作距离显微镜物镜，设计方法包括：以介于16至25倍长工作距离的显微镜物镜为目标，设计沿光轴依次排列的第一光学子模块、第二光学子模块和第三光学子模块的透镜的焦距、折射率、曲率半径、色散系数...

一种10倍长工作距离显微镜物镜。本发明公开了一种长工作距离显微镜物镜，具有介于7至15倍的成像倍率和长工作距离，显微镜物镜包括第一组合镜、第二组合镜和第三组合镜，其中，第一组合镜包括由物方向像方排列的正月牙透镜、第一负透镜和第一双凸透镜...

本发明公开了一种长工作距离显微镜物镜，被配置为4至6倍的成像倍率和长工作距离，物镜包括由物面至像面方向上沿着光轴依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组面向像面的一侧与第二镜组面向物面的一侧邻近设置，所述第二镜组面向像面的一...

本发明提供了一种具有大视场的投影光刻物镜光学系统，物镜光学系统具有大视场、易于生产加工的特点，同时热稳定性好可以满足大曝光剂量的需求，设置有：第一镜组、第二镜组、第三镜组和第一反射镜，由物面发射的光束依次经过第一镜组、第二镜组、第三镜组...

本发明提供了一种用于投影光刻的物镜光学系统以及采用该物镜光学系统的投影光刻系统，其在结构简单，使用透镜少、低成本的同时，还具有较高的分辨率，沿着光轴顺序设置有：第一镜组、第二镜组、第三镜组和反射曲面，由物面发射的光束依次经过第一镜组、第...

本发明提供了一种用于投影光刻的折反式物镜光学系统及投影光刻系统，其具有宽光谱适应的特性，并且结构简单、镜片枚数少，生产成本更低，第一镜组具有正光焦度，第二镜组具有负光焦度，所述第三镜组距离物面最远的镜面为反射曲面，所述反射曲面通过在第三...

本发明提供了一种倍率可调的物镜光学系统以及投影光刻系统，其投影倍率可调，且使得物面和像面都具有足够的操作空间，包括沿着光轴设置的第一镜组、反射镜、第二镜组、第三镜组、第四镜组和反射曲面，由物面发射的光束依次经过所述第一镜组、反射镜、第二...

本发明提供了一种适用于不同平板厚度的，且具有大数值孔径的高精度显微镜物镜，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组、第三镜组和第四镜组，所述第二镜组能够沿着光轴方向移动，显微镜物镜满足关系式：0.8<f1/f&am...

本发明提供了一种40倍显微镜物镜，其在满足大数值孔径的条件下，物镜获得较长的工作距离，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组、第三镜组，其特征在于：所述第二镜组能够沿着光轴方向移动，显微镜物镜满足关系式：1.3<...

本发明提供了一种具有大数值孔径、长工作距离的显微镜物镜，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组、第三镜组和第四镜组，其特征在于：所述第三镜组能够沿着光轴方向移动，显微镜物镜满足关系式：1.8<f1/f&l...

本发明提供了一种60倍显微镜物镜，其具有高倍放大倍率、大数值孔径的特点，且镜片数目较少、加工难度低，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组和第三镜组，第二镜组包含至少1个胶合透镜，第三镜组包含至少1个胶合透镜，满足关系式：1....

本发明提供一种宽谱线大视场物镜系统，其包括：第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头；各成像镜头依次设置，任一成像镜头对应一像面，来自所述照明单元的光束依次经第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头成像后逐级放大，所述第一成像镜头包括依次设置的...

本发明提供一种宽谱线大视场物镜，其包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组；所述第二成像镜组中，至少有2片正透镜满足关系式：Dopamp;gt;0.7

本发明提供一种宽谱线高分辨率光学系统，其包括：光源单元、照明单元、成像单元；光源单元包括：光源以及聚光元件，照明单元包括：匀光部件和第二照明镜头，经过第二照明镜头的光束投射至第二照明面；成像单元包括：第一成像镜头，其包括依次设置的：第一...