一种60倍显微镜物镜制造技术

本发明专利技术提供了一种60倍显微镜物镜，其具有高倍放大倍率、大数值孔径的特点，且镜片数目较少、加工难度低，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组和第三镜组，第二镜组包含至少1个胶合透镜，第三镜组包含至少1个胶合透镜，满足关系式：1.1<f1/f<5.0；|f2/f|>18；3.5<

【技术实现步骤摘要】
一种60倍显微镜物镜

技术介绍

[0001]随着近年来随着半导体行业、生物医药的高速发展，对观察样品的要求精度越来越高，通过提高显微镜的观测精度从而达到观测要求，由于要在显微镜上观察到更多细节，需要大放大倍率、大数值孔径，对于这样的物镜光学系统，轴上像差和倍率色差的补正是很难的，由于像差的影响会导致光学的分辨率性能下降。
[0002]现有的一些具有大放大倍率的物镜，但是却存在着小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难的问题。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术提供了一种60倍显微镜物镜，其具有大放大倍率、大数值孔径的特点，且镜片数目较少、加工难度低。
[0004]其技术方案是这样的：一种60倍显微镜物镜，其特征在于：沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组和第三镜组，第二镜组包含至少1个胶合透镜，第三镜组包含至少1个胶合透镜，满足关系式：
[0005]1.1<f1/f<5.0
[0006]|f2/f|>18
[0007]3.5<
‑
f3/f<15
[0008]0.65<NA<0.95
[0009]其中，f1为第一镜组的组合焦距，f2为第二镜组的组合焦距，f3为第三镜组的组合焦距，f为显微镜物镜整体的组合焦距，NA为显微镜物镜的数值孔径。
[0010]进一步的，所述显微镜物镜满足：
[0011]1.2<
‑
R1/d0<5.8
[0012]其中，d0为物面到第一镜组的物面侧镜面的距离,R1为第一镜组靠近物方侧镜面的曲率半径。
[0013]进一步的，所述第一镜组至少包含四个透镜，且第一镜组至少包含2个双凸透镜，双凸透镜满足关系式：
[0014]Vdf>78
[0015]其中，vdf是第一镜组的双凸透镜满的色散系数。
[0016]进一步的，所述第一镜组的透镜中至少包含四个朝向像方的凸面，且第一镜组中靠近物方的透镜为凹面朝向物方的月牙透镜，且满足关系式：
[0017]7.5<fs/f<30
[0018]其中，fs：第一镜组中靠近物方的透镜的单焦距或胶合透镜的组合焦距，f为显微镜物镜整体的组合焦距。
[0019]进一步的，所述第二镜组包含1个双凹透镜和1个双凸透镜，且满足关系式：
[0020]Nms
‑
Nps>0.13
[0021]Vdps
‑
Vdms>20
[0022]其中，Nms为第二镜组的一个负透镜的折射率，Nps为第二镜组的一个正透镜的折射率，Vdms为第二镜组的一个负透镜的色散系数，Vdps为第二镜组的一个正透镜的色散系数。
[0023]进一步的，所述第二镜组至少包含2个正单透镜，所述正单透镜靠近物方的镜面为朝向物方的凸面。
[0024]进一步的，所述第二镜组能够沿着光轴方向移动。
[0025]进一步的，所述第三镜组的靠近像方的透镜为双凹透镜，且满足1.2<R2/f<8，其中，R2为第三镜组的靠近像方镜面的曲率半径。
[0026]进一步的，所述第三镜组包含一个正透镜和一个负透镜，且满足关系式：
[0027]Npt
‑
Nmt>0.08
[0028]Vdmt
‑
Vdpt>16
[0029]其中，Nmt为第三镜组的一个负透镜的折射率，Npt为第三镜组的一个正透镜的折射率，Vdmt为第三镜组的一个负透镜的色散系数，Vdpt为第三镜组的一个正透镜的色散系数。
[0030]进一步的，所述显微镜物镜满足关系式：
[0031]0.1<(hm/NA
–
f)/(d1+d2)<0.5
[0032]其中，hm为第一镜组中的光线最大入射高度，d1为第一镜组与第二镜组之间的最小间隔，d2为第二镜组与第三镜组之间的最大间隔。
[0033]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：做为高倍率显微镜物镜具有较大的正屈光力，使该显微镜物镜光学系统具有较大的放大倍率的同时，拥有大的数值孔径，同时，也使得物镜光学系统的场曲、畸变、像差得到改善，从而提高分辨率性能，此外，本专利技术的显微镜物镜光学系统的镜片数目较少，降低了加工难度。
附图说明
[0034]图1为具体实施例的60倍显微镜物镜的组成示意图；
[0035]图2为具体实施例中的60倍显微镜物镜在平板厚度为0.11时的传递函数MTF图；
[0036]图3为具体实施例中的60倍显微镜物镜在平板厚度为0.17mm时的传递函数MTF图；
[0037]图4为具体实施例中的60倍显微镜物镜在平板厚度为0.23mm时的传递函数MTF图。
具体实施方式
[0038]为了更好地理解本申请，将参考附图对本申请的各个方面做出更详细的说明。应理解，这些详细说明只是对本申请的示例性实施方式的描述，而非以任何方式限制本申请的范围。在说明书全文中，相同的附图标号指代相同的元件。
[0039]见图1，本专利技术的一种60倍显微镜物镜，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组和第三镜组，第二镜组包含至少1个胶合透镜，第三镜组包含至少1个胶合透镜，满足关系式：
[0040]对于第一镜组的焦距，给出的参数限制1.1<f1/f<5.0，其中f1：第一镜组的组合焦距，f：物镜整体的组合焦距；可以避免第一镜组的焦距超过上限，导致第一镜组的屈光度不足，镜头结构臃肿，难以综合校正各种像差，避免第一镜组的焦距超过下限，产生过多的球
差和场曲难以校正；
[0041]对于第二镜组的焦距，给出的参数限制|f2/f|>18，其中f2：第二镜组的组合焦距，f：物镜整体的组合焦距；以此可以较好地校正光学系统的球差和轴向色差，尤其2级光谱色差；
[0042]对于第三镜组的焦距，给出的参数限制3.5<
‑
f3/f<15，其中f3：第三镜组的组合焦距，f：物镜整体的组合焦距；可以方便校正高级球差，轴向色差和场曲；
[0043]同时，显微镜物镜还满足0.65<NA<0.95，使得本专利技术的显微镜物镜光学系统具有大的数值孔径，大数值孔径提高了物镜分辨率，使得显微镜成像更清楚，观察效果更好。
[0044]本专利技术通过光学系统中的第一镜组、第二镜组、第三镜组进行设置，通过对于镜组光学参数的限定，使得物镜光学系统具有很好的光学性能，使得该物镜光学系统具有大放大倍率、大数值孔径的特点。
[0045]此外，在本专利技术中，显微镜物镜满足关系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种60倍显微镜物镜，其特征在于：沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组、第二镜组和第三镜组，第二镜组包含至少1个胶合透镜，第三镜组包含至少1个胶合透镜，满足关系式：1.1<f1/f<5.0|f2/f|>183.5<
‑
f3/f<150.65<NA<0.95其中，f1为第一镜组的组合焦距，f2为第二镜组的组合焦距，f3为第三镜组的组合焦距，f为显微镜物镜整体的组合焦距，NA为显微镜物镜的数值孔径。2.根据权利要求1所述的一种60倍显微镜物镜，其特征在于：所述显微镜物镜满足：1.2<
‑
R1/d0<5.8其中，d0为物面到第一镜组的物面侧镜面的距离,R1为第一镜组靠近物方侧镜面的曲率半径。3.根据权利要求1所述的一种60倍显微镜物镜，其特征在于：所述第一镜组至少包含四个透镜，且第一镜组至少包含2个双凸透镜，双凸透镜满足关系式：Vdf>78其中，vdf是第一镜组的双凸透镜满的色散系数。4.根据权利要求3所述的一种60倍显微镜物镜，其特征在于：所述第一镜组的透镜中至少包含四个朝向像方的凸面，且第一镜组中靠近物方的透镜为凹面朝向物方的月牙透镜，且满足关系式：7.5<fs/f<30其中，fs：第一镜组中靠近物方的单透镜的焦距或胶合透镜的组合焦距，f为显微镜物镜整体的组合焦距。5.根据权利要求1所述的一种60倍显微镜物镜，其特征在于：所述第二镜组包含1个双凹透镜和1个双凸透镜，且满足关系式：Nms
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，
申请(专利权)人：张家港中贺自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：