一种光学插入件，包括用于耦接到换能器(120)的光纤线缆(104)的槽(310)。通过在衬底(130)中蚀刻腔(410)，以某些层(520)填充所述腔，然后蚀刻所述层来形成槽。所述腔具有向外倾斜的侧壁，稍后在其上形成反射镜(144)。槽...

一种光学插入件，包括用于耦接到换能器(120)的波导104(例如，光纤线缆)的槽(310)。通过在衬底(130)中蚀刻腔(410)，以某些层(520)填充所述腔，然后蚀刻所述层来形成槽。所述槽可以形成在分立结构中，然后将该分立结构插入到...