尹休专利技术

尹休共有1项专利

  • 本发明公开了一种梳齿电容式单轴加速度计,包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量和止挡结构,所述玻璃衬底的上表面固定安装有固定极板,所述固定极板上挖设有三个呈前后间隔的凹槽,所述固定极板上位于前后两侧的凹槽内各固定安装有一组第一弹性粱单元,所述...
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