一种梳齿电容式单轴加速度计制造技术

本发明专利技术公开了一种梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量和止挡结构，所述玻璃衬底的上表面固定安装有固定极板，所述固定极板上挖设有三个呈前后间隔的凹槽，所述固定极板上位于前后两侧的凹槽内各固定安装有一组第一弹性粱单元，所述第一弹性粱单元包括两根左右相互间隔的第一U型梁，所述固定极板上位于中间的凹槽安装固定有第二弹性梁单元，所述第二弹性梁单元包括两根左右相互间隔的第二U型梁，所述第一弹性粱单元、第二弹性梁单元的上方固定安装有敏感质量，所述玻璃衬底焊接固定安装有止挡结构，所述敏感质量上挖设有与止挡结构相匹配的插槽；本装置结构简单，便于增加装置使用效果，提高使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种梳齿电容式单轴加速度计
本专利技术涉及微电子机械领域，尤其是涉及一种梳齿电容式单轴加速度计。
技术介绍
微电子机械系统（MicroElectro-MechanicalSystem）简称MEMS，其主要是基于机械学科与微电子学科迅猛发展，同时为满足技术小型化、微型化的先进理念，融合物理学、材料科学等其他学科从而衍生的多学科交叉的前沿性研究领域。在MEMS发展的过程中，不断涌现出各种各样的微机械加速度计，其中以电容式加速度计最为常见。该类型加速度计的原理为借助极板间电容的改变量和自身结构参数两者的关系，巧妙地把施加在外部的加速度转变为微机械结构加速度计内电容的变化，由于电容为相对易于测量的电学量，据此开展对该电学量测量的相关工作，从而可间接得到所测量加速度的大小。对比基于其它原理的微机械结构加速度计，电容式加速度计的优点为：温漂效应小，温度稳定性好，结构简单，单位芯片面积灵敏度较高，功耗等，已成为目前微加速度计研究的重点与潮流，其应用也越来越方法。民用方面，其广泛用于通用航空、车辆控制、高速铁路、机器人、工业自动化、探矿、玩具、手机等；军事方面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量和止挡结构，其特征在于，所述玻璃衬底的上表面固定安装有固定极板，所述固定极板上挖设有三个呈前后间隔的凹槽，所述固定极板上位于前后两侧的凹槽内各固定安装有一组第一弹性粱单元，所述第一弹性粱单元包括两根左右相互间隔的第一U型梁，所述固定极板上位于中间的凹槽安装固定有第二弹性梁单元，所述第二弹性梁单元包括两根左右相互间隔的第二U型梁，凹槽之间挖设有用于放置敏感质量的放置槽，所述敏感质量、梳齿式极板位于固定极板上放置槽内，所述梳齿式极板一体连接在敏感质量两侧，所述第一弹性粱单元、第二弹性梁单元与敏感质量相连接且位于同一平面内固定极板放置，...

【技术特征摘要】
1.一种梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量和止挡结构，其特征在于，所述玻璃衬底的上表面固定安装有固定极板，所述固定极板上挖设有三个呈前后间隔的凹槽，所述固定极板上位于前后两侧的凹槽内各固定安装有一组第一弹性粱单元，所述第一弹性粱单元包括两根左右相互间隔的第一U型梁，所述固定极板上位于中间的凹槽安装固定有第二弹性梁单元，所述第二弹性梁单元包括两根左右相互间隔的第二U型梁，凹槽之间挖设有用于放置敏感质量的放置槽，所述敏感质量、梳齿式极板位于固定极板上放置槽内，所述梳齿式极板一体连接在敏感质量两侧，所述第一弹性粱单元、第二弹性梁单元与敏感质量相连接且位于同一平面内固定极板放置，所述敏感质量通过第一弹性粱单元、第二弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹休，
申请(专利权)人：尹休，
类型：发明
国别省市：浙江;33