惯性传感器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。

【技术实现步骤摘要】
惯性传感器、电子设备以及移动体
本专利技术涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，专利文献1所记载的惯性传感器具有：可动体，绕摆动轴进行杠杆式摆动；以及第一检测电极以及第二检测电极，配置于可动体的正下方处。在该惯性传感器中，若施加Z轴方向的加速度，则可动体绕摆动轴进行杠杆式摆动，由此，可动体与第一检测电极之间的静电容量以及可动体与第二检测电极之间的静电容量以反相变化。因此，能够基于静电容量的位移量来检测Z轴方向的加速度。另外，在第一、第二检测电极分别形成有突起，通过使可动体与突起接触来限制可动体超过突起的位移。然而，在专利文献1的惯性传感器中，检测电极围绕突起的周围，在可动体与检测电极之间产生电位差。在这种情况下，若可动体粘贴在突起上，则由于可动体与检测电极之间的电位差所导致的静电引力，存在粘贴变得难以被解除的可能。专利文献1：日本特开2017-146312号公报
技术实现思路
本实施方式所记载的惯性传感器具有：基板；可动体，具备隔着摆动轴而配置并且绕所述摆动轴的旋转力矩相互不同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种惯性传感器，其特征在于，具有：/n基板；/n可动体，具备隔着摆动轴而配置并且绕所述摆动轴的旋转力矩相互不同的第一可动部和第二可动部，所述可动体相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；/n检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠；/n虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，与所述可动体同电位；以及/n突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，/n所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，/n所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。/n

【技术特征摘要】
20190327 JP 2019-0606711.一种惯性传感器，其特征在于，具有：
基板；
可动体，具备隔着摆动轴而配置并且绕所述摆动轴的旋转力矩相互不同的第一可动部和第二可动部，所述可动体相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；
检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠；
虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，与所述可动体同电位；以及
突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，
所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，
所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。


2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
所述基板具有在所述可动体侧开口的凹部，
所述凹部具有第一凹部和比第一凹部深的第二凹部，
所述检测电极设置于所述第一凹部的底面，
所述虚设电极设置于所述第二凹部的底面，
所述突起从所述第二凹部的底面突出。


3.根据权利要求1或2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷泽照夫，田中悟，纸透真一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP