下载惯性传感器、电子设备以及移动体的技术资料

文档序号:25888939

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本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有:基板;可动体,相对于所述基板绕所述摆动轴摆动;检测电极,设置于所述基板,在俯视观察下与所述可动体重叠;虚设电极,设置于所述基板,在俯视观察下与所述可动体重叠,与所述可动体同电位;以及...
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