原子探针分析方法、装置及记录媒体制造方法及图纸

本揭露提供一种原子探针分析方法、装置及记录媒体。所述方法包括下列步骤：利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及对各量体的不同价数的离子在质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各量体的离子所占的比例，并用以修正各量体的离子的定量结果。

【技术实现步骤摘要】
原子探针分析方法、装置及记录媒体
本揭露的实施例是有关于一种原子探针分析方法、装置及记录媒体。
技术介绍
在半导体制程中，需要针对半导体组件的表面微污染、掺杂与离子植入等，进行特定元素(例如磷、砷、硼等)浓度的定量分析，从而控制或调整制程参数，藉此维持组件/外延的稳定性。例如，在磷化硅的外延(epitaxy)过程中，即需要对磷进行定量分析(quantification)。现今的定量分析技术其中之一是采用原子探针分析技术(AtomProbeTomography)，但此技术在对某些元素进行定量分析时，分析所得的质谱图中的主要信号来源是由同一元素的多种量体的信号重迭而成，结果将使得定量分析结果与实际量值有所偏差。
技术实现思路
本揭露的实施例提供一种原子探针分析方法，适用于具有处理器的电子装置。所述方法包括下列步骤：利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及对各量体的不同价数的离子在质谱图中对应的质荷比(mass-to-本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种原子探针分析方法，适用于具有处理器的电子装置，其特征在于，所述方法包括：/n利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；/n利用质谱仪分析由所述原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及/n对各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各所述量体的所述离子所占的比例，并用以修正各所述量体的所述离子的定量结果。/n

【技术特征摘要】
1.一种原子探针分析方法，适用于具有处理器的电子装置，其特征在于，所述方法包括：
利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；
利用质谱仪分析由所述原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及
对各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各所述量体的所述离子所占的比例，并用以修正各所述量体的所述离子的定量结果。


2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各所述量体的所述离子所占的比例，并用以修正各所述量体的所述离子的定量结果的步骤包括：
利用各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中所对应的未与其他量体的所述离子重迭的质荷比的计数值，计算各所述量体的所述离子所占的比例；以及
将所述质谱图中对应于重迭的所述量体的所述离子的质荷比的计数值乘上各所述量体的所述比例及对应的原子数，以获得对应于所述质荷比的各所述量体的所述价数的所述离子的计数值，作为各所述量体的所述离子的定量结果。


3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
反馈修正后的各所述量体的所述离子的所述定量结果于所述脉冲激光器的电源供应以调整充电状态比，使得各所述量体的不同价数的所述离子的比例维持固定。


4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
利用机器学习算法建立学习模型，以学习所述测试样品分析时的初始条件与分析所得的各所述量体的所述离子的所述定量结果之间的关系；以及
利用所述学习模型识别执行期间的所述测试样品的各所述量体在所述质谱图中的指纹，并据以修正各所述量体的定量结果。


5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述元素包括半导体制程中所使用的掺杂元素，所述掺杂元素包括磷、砷...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪世玮，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71