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本揭露提供一种原子探针分析方法、装置及记录媒体。所述方法包括下列步骤：利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及对各量体的不同价数的离子...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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