本申请涉及一种CVD沉积等制程石英炉管的清洗方法及装置，该方法包括：将石英炉管放入清洗槽并通过滚轮组件带动其滚动；依次喷射低浓度酸液、高浓度酸液，形成至少浸没炉管一部分的沉积酸液，达标后启动超声装置传导脉冲式超声波；再喷射低浓度酸液；停...