本发明公开了一种模块化、多功能、多轴紧凑型晶圆校准器，涉及半导体技术领域。该校准器包括框架、底部本体、顶部末端、检测传感器、XYZT轴、Y1轴及出线接口；底部本体与顶部末端可拆卸连接，顶部末端可更换为真空吸附式、伯努利式或边缘夹持式结构...

本技术公开了光掩膜板正位扫码设备，其特征在于，包括底座，所述底座上设置有旋转电机，所述旋转电机连接有光掩膜板夹爪，所述光掩膜板夹爪两侧分别设置有扫描相机和检测传感器；所述旋转电机用于带动光掩膜板夹爪调整光掩膜板的位置，所述检测传感器用于...

本发明公开了一种快速切换Recipe、自动捕捉位置的基片类传感器、及在线诊断的系统和方法，本发明通过MCU接收来自CMOS图像传感器的图像数据、IMU运动测量芯片的运动数据以及温湿度传感器的环境数据，进行综合处理后，一方面通过控制LED...

本发明公开了一种贴有Pellicle薄膜光掩膜版的清洗设备，包括抓手模块、风针模块、移动底座模块、旋转抓手模块、风刀吹扫模块、背洗模块、条码区清洗模块，各模块相互配合，Mask抓手模块精准抓取、释放光掩膜版，移动底座模块实现各工位间转移...