本文公开了系统和方法，所述系统和方法包括热控晶圆(TCW)，其包括多个加热器区。加热器区可包括加热‑传感元件，其在加热模式期间产生热量，以及在传感模式期间提供电阻。在测试期间，可将被测晶圆(WUT)放置在吸盘组件的顶部。TCW可为吸盘组...

本文公开一种集成加热器和测量(IHM)装置，该IHM装置包括加热‑感测元件和加热‑感测电路。加热‑感测元件产生热并确定该IHM装置的温度。在一些实施方案中，该加热‑感测元件可在多个模式下操作：加热模式、感测模式和/或关断模式。控制器可基...

本文公开了用于在测试一个或多个被测设备时独立地控制一个或多个部件的热头和相应的测试系统。在一些实施例中，热头包括多个适配器、一个或多个加热器以及用于对多个部件的温度进行独立的控制的一个或多个热控制器。热控制器可对所述多个部件中的至少一些...