本发明提供检查装置及检查方法，能够在检查金属掩模片之后将金属掩模片分等级地收容。该检查装置是检查向金属掩模框架安装前的金属掩模片的检查装置(2)，具备：测定部(8)，测定形成于所述金属掩模片的管理点；等级判定部，基于所述测定部的测定结果...

本发明提供一种能够将金属掩模片高精度地焊接于金属掩模框架的掩模制造装置。掩模制造装置(2)通过将带状的金属掩模片(18)焊接于框状的金属掩模框架(20)来制造金属掩模，其具备：张力部(6)，通过使上述金属掩模片的两端部向相互分离的方向移...

提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及载置方法。所述载置台为载置矩形形状的工件的载置台(2)，具备对载置所述工件的所述载置台的表面(10a)的平面度进行调整的平面度调整部(4a～4x)，所述平面度调整部具备：螺栓(16)...

本发明提供一种金属掩模制造方法，容易制造高精细度的金属掩模。该方法是将薄膜金属片(8)激光焊接于掩模框架(4)而制造金属掩模(2)的金属掩模制造方法，包括：第一载置工序，将厚度比所述薄膜金属片厚、且厚度为所述薄膜金属片的厚度的5倍以下的...

一种测定装置，能够容易地对测定对象物的背面的形状进行测定。测定装置具备：载置台部(6)，载置平板状的测定对象物；显微镜(8)，具有物镜(8b)及拍摄部(8c)；及角隅棱镜(12)，配置于所述载置台部的与所述测定对象物的背面侧的测定位置相...

本发明提供一种检查装置，能够准确地检查金属掩模片，所述检查装置具有：至少一个张力部（13），对向金属掩模框安装之前的金属掩模片（4）施加预先设定的规定的检查用张力；以及在所述张力部对所述金属掩模片施加了张力的状态下测定所述金属掩模片的尺...

本发明提供一种掩模制造装置，能够制造高精度的金属掩模，该掩模制造装置具备：至少一个张力部（13），对金属掩模片施加规定的张力；设定部，设定框架坐标系，该框架坐标系是以安装所述金属掩模片的金属掩模框为基准的坐标系；测定部（8），测定由所述...

本发明提供一种金属掩模片供给系统，能够自动供给金属掩模片而不使其损伤。该金属掩模片供给系统具备：配置部（10），配置片盒，其中，金属掩模片（4）和保护所述金属掩模片的保护片交替层叠地收纳于所述片盒；分离装置（12），通过在隔着所述配置部...

本发明提供一种检查机，稳定地检查有机材料的蒸镀状态。该检查机具备：物镜（4），以规定的倍率观察真空室内的有机材料；照射部（12），射出对上述有机材料进行照射的紫外光；及摄像部（8），经由上述物镜拍摄被上述紫外光照射状态下的上述有机材料的像。

本发明提供一种显微镜，能够良好地拍摄不同倍率的被检体像。具备：物镜，以规定的倍率观察被检体；照明部，具有射出经由物镜对被检体进行照明的照明光的光源；第一光学部件，将从被检体入射到物镜的被检体光的光路分割成两个光路；第一成像镜，使基于由第...

本发明提供一种金属掩模安装方法，能够使金属掩模的检查对象区域的位置在固定前与固定后难以发生偏移。上述金属掩模安装方法包含：张力施加工序，使用一对张力装置（6）沿金属掩模（2）的长度方向施加张力；及安装工序，将在上述张力施加工序中被施加了...