西安芯晖设备技术有限公司专利技术

西安芯晖设备技术有限公司共有6项专利

  • 本发明涉及一种晶棒称重装置,包括:提拉结构,包括驱动轮、从动轮和钨丝绳,所述钨丝绳的一端连接于所述驱动轮上,所述钨丝绳的另一端绕过所述从动轮连接于晶棒的一端;称重结构,所述称重结构的一端通过连接件与所述从动轮连接;调整结构,设置于所述称...
  • 本发明涉及一种对中调节治具和对中调节方法,用于单晶炉中提拉结构的卷丝轮的绳槽和从动轮的绳槽的对中调节,提拉结构包括安装于提拉箱体内的卷丝轮和从动轮,从动轮通过从动轮基座安装于提拉箱体内,对中调节治具包括连接呈Z字形结构的第一连接杆、第二...
  • 本发明提供一种石墨坩埚吊装装置及方法,该装置包括:吊装连接件、多个提升臂以及多个提升支座;所述提升臂的第一端均与所述吊装连接件连接,第二端均与所述提升支座连接;所述提升支座包括:套筒、提升旋转轴、提升脚板以及限位手柄;所述提升旋转轴的第...
  • 本技术公开了一种球阀,其用于在单晶硅生长设备中使用,所述球阀包括阀座和球体,所述阀座包括容纳所述球体的腔体部和在所述腔体部的两端处与所述腔体部连通的入口通道和出口通道,所述球阀还包括:密封装置,所述密封装置设置在所述腔体部的内表面与所述...
  • 本发明涉及一种晶体断线检测方法,包括:按照预设速率实时获取单晶硅棒的测量直径;通过数据滤波算法获取单晶硅棒的实际直径;根据所述测量直径和所述实际直径的差,以及单晶硅棒的旋转速度,对晶棱线进行周期性的检测,以获得检测结果;将所述检测结果与...
  • 本实用新型涉及一种清洁装置,用于清洁单晶炉副室,包括:提拉结构;中空设置的主轴,所述主轴的一端与所述提拉结构连接,所述主轴内部设置有第一通道,沿所述主轴的周向方向,所述主轴的侧壁上设置有多个吸附孔,所述第一通道的一端与所述吸附孔连通,所...
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