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西安交通大学专利技术
西安交通大学共有39329项专利
聚二甲基硅氧烷微流控芯片复型光固化树脂模具制作方法技术
本发明公开了一种聚二甲基硅氧烷微流控芯片复型光固化树脂模具制作方法,采用环氧类光敏树脂配制的液态光刻胶为微模具材料,以石英玻璃为背衬基片,通过基片上的硅烷偶联剂涂层增加模具结构与基片的结合力,用在基片周围粘贴不同厚度的塑料薄片的方法控制...
纳米压印用紫外光固化阳离子型刻蚀胶制造技术
本发明公开的纳米压印用紫外光固化阳离子型刻蚀胶,按重量百分比,其组成为:脂环族环氧10%~60%,有机硅环氧树脂0%~30%,乙烯基醚10%~40%,聚己内酯多元醇0%~20%,长链脂肪族环氧0%~15%,光引发剂1%~10%,助剂0%...
大面积微压印专用超平整度软模具的制作方法技术
本发明公开了一种大面积微压印专用超平整度软模具的制作方法,该方法采用光刻和其配套的刻蚀工艺在石英基板的表面上制作多层套印所需的金属对准标记和微结构图型,其中金属的套印对准标记与待转移的模具胶层表面微结构图型不处于同一平面;本发明制备的大...
一种零留膜的压印模板及压印光刻图形转移方法技术
本发明公开了一种零留膜的压印模板及压印光刻图形转移方法,该方法包括压印模板制作、压印、曝光、脱模、显影等工艺步骤,得到基材上零压印底膜的光刻胶转移图形。本发明通过蒸镀、溅射、CVD、电镀等工艺在透明压印模板上图形的突出部位镀覆一层不透紫...
一种微米级特征的三维辊压模具及其制造方法技术
本发明公开了一种辊压模具为金属滚筒结构,滚筒的内径与外径之间镶嵌有电阻式加热器,滚筒的外径表面上形成有微米级至亚毫米级三维结构的辊压图形,该辊压图形三维特征的结构截面的尺寸组合为:截面最小宽度:L<50μm、深度:0<H<500μm、倾...
高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台制造技术
一种高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台,包括基座(3),其特征在于,在基座(3)上安装有X轴运动模块(1)、Y轴运动模块(2)和X、Y向位置检测装置(4),其中X轴运动模块(1)位于Y轴运动模块(2)之内; Y轴运动模...
一种加工微米/亚微米尺度块体试样的方法技术
本发明公开了一种加工微米/亚微米尺度块体试样的方法,该方法首先利用光刻蚀加工得到若干个微米尺度的块体试样“雏形”,三维尺寸相对于最终微米/亚微米块体试样尺寸有所盈余,然后利用聚焦离子束加工得到精确尺寸的微米/亚微米块体试样。该方法可广泛...
全禁带三维光子晶体压印成型方法技术
本发明涉及微纳制造技术领域,介绍了一种全禁带三维光子晶体的压印成型制造方法及全禁带三维光子晶体结构。以高分子聚合物硅橡胶或聚甲基丙烯酸甲酯作为基体材料,采用纳米压印的方式在高分子聚合物基体材料中填入单分散胶体颗粒(聚苯乙烯、二氧化硅或二...
一种减阻表面的制造方法技术
本发明公开了一种减阻表面的制造方法。该减阻表面基于表面形貌结构的形状、尺寸以及排布方式等对动态接触角的影响,设计和排布出使动态接触角较小的微结构拓扑,在基片表面上制作出交错排列的微米级结构阵列。本发明制作减阻表面的方法是以紫外压印光刻技...
一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法技术
本发明公开了一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法,该方法将适合制作微纳压印模具的硬质材料固定在三维精密平移台上,利用显微物镜将一束飞秒激光聚焦在样品表面,根据微纳结构与器件压印模斑的结构设计,通过飞秒激光刻蚀和三维精密移动平台的配合运...
数字式光纤阵列高速摄像装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种数字式高速摄像装置,由光纤阵列模块、光电转换模块、系统直接采样存储模块、总线控制模块、触发和系统监控模块、后处理微机和相应的软件系统组成,它以二维光纤阵列接受对象的光信号,通过高速采样、高速存储等技术,构成一种拍摄速...
带自聚焦透镜的数字式光纤阵列高速摄像装置制造方法及图纸
本发明公开了一种带自聚焦透镜的数字式光纤阵列高速摄像装置,由光纤阵列模块、光电转换模块、实时AD转换模块、全硬件逻辑控制模块、数据缓冲模块、通讯模块、后处理PC机以及具有图形组态功能的软件系统组成,提供了4个转换精度为12位的模拟通道及...
液芯光纤电光调制器制造技术
液芯光纤电光调制器,它包括石英材料制成的光纤电场极板,其特征在于:所述的光纤为内部充液态硝基苯甲的液芯光纤,透明材料制成的耦合接头与液芯光纤胶合,液芯光纤置于平行电场极板之间。
基于细菌视紫红质分子材料的并行光子逻辑与门装置制造方法及图纸
本发明公开了一种细菌视紫红质材料制作的光子逻辑与门装置,包括信号光源、信号扩束镜、信号滤波器、信号准直镜、第一半反半透镜、第一电寻址空间光调制器、信号成像镜头、第二半反半透镜、细菌视紫红质分子膜器件、第一窄带全反镜、输出成像镜头、第二窄...
基于细菌视紫红质分子材料的并行光子逻辑非门装置制造方法及图纸
本发明公开了一种细菌视紫红质材料制作的光子逻辑非门装置,包括调制光源、调制扩束镜、调制滤波器、调制准直镜、电寻址空间光调制器、调制成像镜头、全反射镜、信号成像镜头、窄带反射镜、细菌视紫红质分子膜器件、信号准直镜、信号滤波器、信号扩束镜、...
一种光固化快速成型设备的激光功率在线检测与控制方法技术
本发明公开了一种光固化快速成型设备的激光功率在线检测与控制方法,其特征在于,该方法在快速成型设备的激光器与振镜扫描头之间设置一个光衰减片,该光衰减片由直流可逆电动机带动,在树脂槽上设有一个光敏传感器,用于适时在线检测激光器的激光功率;激...
一种利用飞秒激光制备布拉格光纤光栅的方法及装置制造方法及图纸
本发明公开了一种利用飞秒激光制备布拉格光纤光栅的方法及装置,利用飞秒激光瞬态相干技术在光纤内部制备布拉格光栅的方法。光纤布拉格光栅制备时,先将去除掉包层的光纤纤芯固定在三维精密移动平台上,然后将两束飞秒激光分别经透镜聚焦,并使之产生干涉...
实现不同阶次多波混频间的共存和相互作用的测量方法技术
本发明公开了一种实现任意能级不同阶次多波混频间的共存和相互作用的方法。两束独立的连续光或脉冲光由偏振分束片PBS分别分为两束光,再利用棱镜和可移动的全反镜将垂直偏振光束反射回原光路,从而得到新的两束光,移动全反镜R可改变光束的相对延时τ...
彩色显象管曝光台的附加校正透镜制造技术
本实用新型公开一种作业技术领域的彩色显象管曝光台的附加校正透镜。它包括一个底面为平面的连续曲面透镜,连续曲面透镜其上表面中心部分为一个圆平面,与圆平面外接部分为旋转对称的曲面,中心圆与外接旋转对称曲面光滑连接。本实用新型使用后,基本上消...
微位移爬行器制造技术
本实用新型公开一种改进的采用压电陶瓷的微位移爬行器,用于光学显微镜、电子显微镜和扫描隧道电子显微镜等样品架的微量位移,其爬行步长为每步几百纳米。采用P51压电陶瓷;两个吸定脚是下表面具有SiO-[2]绝缘层的硅片;基面用大硅片制得,其上...
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