本申请公开了一种控温装置、单色测温仪、控温方法及存储介质，涉及半导体制造技术领域。用于单色测温仪的控温装置包括控制器、恒温模块、温度采集模块和电源，恒温模块包括半导体制冷片，半导体制冷片通过导热硅脂贴合在单色测温仪的传感器背面；控制器的...

本申请公开了一种电源管理电路及具有其的嵌入式无线晶圆测温装置，涉及电源管理技术领域。该电源管理电路包括电池供电模块和无线供电模块，所述电池供电模块的第一端连接所述无线供电模块的第一端，所述电池供电模块的第二端、所述无线供电模块的第二端分...