本发明涉及半导体技术领域，公开了一种晶片外延生长用承载盘，包括盘体、盖板、调节组件和定位机构，盘体的上部开设有若干个凹槽，凹槽内设置有承载块，用于对放置进凹槽内的晶片进行承载，盘体的内部开设有空腔和若干个安装口，且若干个安装口均与空腔连...

本技术公开了一种石墨基座加工用定位装置，包括固定架、横杆、支撑座和限位环，所述横杆与固定架的内壁固定连接，所述支撑座固定连接在横杆的顶部，所述限位环与固定架的内壁固定连接，所述限位环的内壁活动连接有定位机构。本技术通过设置支撑座，在使用...

本技术涉及石墨基座加工用石墨清洗装置领域，特别涉及一种石墨基座加工用石墨清洗装置。包括工作台，所述工作台底部四角边缘处均安装有一组伸缩腿，所述工作台顶部两侧均安装有一组第一连接板，将石墨基座至于操作台顶部，紧接着通过操作台底部的伸缩底座...