本发明涉及一种MEMS微镜及其制备方法，包括开设在晶圆上的：镜面，其下端设置有镜面下空腔；支撑梁组件，与镜面两侧相连，并以支撑梁组件为轴提供镜面转动空间；垂直驱动梳齿对，其用于驱动镜面旋转；隔离梁，其固定于镜面下空腔中部，并接近于镜面表...

本发明涉及一种高稳定性MEMS微镜，包括镜面；支撑梁，与镜面两侧相连，并以锚点为基点，为镜面的转动提供支撑；垂直驱动梳齿对，其包括交错插接的定梳齿和动梳齿，动梳齿与镜面相连，并为镜面转动提供静电作用力；dummy梳齿对，其连接于垂直驱动...

本发明公开了一种实现MEMS均匀出光的自由曲面柱透镜设计方法，涉及光学透镜设计领域，该方法包括：建立MEMS出光能量与目标平面面积之间的映射关系；给定自由曲面母线的顶点坐标，并根据映射关系确定自由曲面母线上其余点的坐标；连接所有点形成自...

本发明涉及一种基于环状棱镜的360度扫描激光雷达光学系统及扫描方法。其包括：激光器；MEMS反射镜，用于反射入射到所述MEMS反射镜的激光束，且所述MEMS反射镜能绕第一方向圆周转动；棱镜单元，至少提供第一锥面、第一平面、第一柱面以及第...

本发明公开了一种一体化激光整形装置，涉及激光技术领域，该装置包括：两个激光器和一体化整形透镜，一体化整形透镜包括两个一级准直面

本发明的一种基于结构光条纹的自动曝光控制方法，包括：S1、采集一组四步相移光栅图，并进行解算；S2、对调制度与背景光进行双重降采样，剔除过饱合的采样值进行排序并作直方图；S3、找到直方图上标记位置的调制度值与背景光强值；S4、根据对应关...

本发明的一种基于结构光条纹分块的高动态融合方法，包括：S1、获得自动曝光时间t1，使用曝光时间t1投影四步相移光栅图并解算，分别计算左右相机投影光强的中位数；S2、计算整个设备的比率值，计算各基准调制度值点，以及对应的各基准曝光时间；S...

本实用新型涉及一种集防护与冷却一体化的工业设备生产用保护装置，包括设置有敞口的壳体，敞口处连接容置空间，所述壳体内部安装驱动装置，壳体的外侧面连接第一防护装置，驱动装置的输出端与第一防护装置连接，驱动装置驱动第一防护装置在壳体外侧面的打...

本发明公开了一种大角度MEMS双轴微镜，包括键合的第一SOI片和第二SOI片，所述第二SOI片上设置有镜片，所述第二SOI片下方设置有第一梳齿组，所述镜片两侧设置有第二梳齿组。与现有技术不同的是，本方案仅需要两片SOI片的键合即可制备，...

本发明公开了一种以线激光器为主视角的3D线激光相机的标定方法，首先使用相机拍摄N组不同位姿无线激光的标定板图片；然后使用滑轨在测量范围内步进固定距离，相机拍摄M组姿态一致的有线激光图片；接下来进行对N组标定图片相机标定，然后对每列M组激...

本发明公开了一种快速高精度的线激光中心提取方法。本发明首先进行ROI区域提取，对ROI区域进行一维特殊横向高斯平滑，以减少后续冗余区域的计算；然后选择ROI竖向一维方向灰度最大的点作为中心点，然后计算基于海森矩阵的特征向量初步确定每一处...

本发明公开的高速激光轮廓仪包括激光发射器、透镜单元、扫描器、角度反馈装置、算法控制单元、成像镜头、光电探测器、主控、计时模块、激光脉冲控制单元，激光投射至透镜单元上，再投射到摆动的扫描器，对物体轮廓进行扫描，角度反馈装置将扫描器的摆动角...

本发明属于多目成像领域，公开了基于几何约束的立体匹配快速成像方法，首先完成左右相机各自的单目标定和相互间的双目标定；对左右相机的相位作极线校正；使用深度范围约束检索匹配点的范围，通过左右相机包裹相位的对应匹配点相位相似性找到若干候选点，...

本发明公开了一种基于MEMS微振镜光路结构的消散斑方法，包括以下步骤：S1、通过激光发射器将激光通过透镜投射到一维MEMS微振镜a上，一维MEMS微振镜a从静止状态，转变为镜面在垂直方向上存微小、高频的振动；S2、激光经一维MEMS微振...

本发明公开了一种双面结构的圆片的划片方法，涉及半导体技术领域，该方法包括：获取双面结构的圆片；提供UV膜，并对UV膜的指定区域进行预固化处理；将圆片的一面贴附在UV膜上，使得经预固化处理的指定区域完全覆盖圆片上的芯片区域；对贴附有UV膜...

本发明涉及一种水雾浸润悬空膜空腔结构及方法，包括用于固定晶圆的套具、与套具配合使用的加湿器，套具包括两端敞口的底托、安装于底托顶部的盖子，底托和盖子形成的腔室中设有喷雾花洒，所述喷雾花洒上设有若干喷孔；在喷雾花洒的圆周位置设有用于承托晶...

本实用新型公开了基于MEMS的非等间距梳齿结构，涉及微机电技术领域，包括围绕转轴旋转的上梳齿结构以及位于上梳齿结构下方的下梳齿结构，上梳齿结构包括若干个间隔设置的可动梳齿，且越远离转轴可动梳齿的梳齿间隙逐渐增大，下梳齿结构包括若干个等间...

本实用新型公开了一种用于MEMS微镜的防撞结构，包括底板，所述底板顶端分别开设有多个限位槽与多个卡槽，多个所述卡槽卡合连接有多个卡块，多个所述卡块顶端共同连接有防护板，所述防护板顶端固定连接有顶板，所述限位槽内侧壁光滑贴合有限位杆，本实...

本实用新型公开了一种MEMS微镜的保护装置，包括微镜本体，所述微镜本体的底部设置有槽型固定板，所述微镜本体的外表面套接有盒体，所述微镜本体的表面设置有微镜镜头，所述盒体的顶部开设有开口，所述开口的内部固定连接有保护片，所述微镜镜头位于保...

本发明公开了一种离轴式MEMS微镜及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括第一微镜、第二微镜、第一固定梳齿、第二固定梳齿、驱动电极，第一微镜和第二微镜以转轴为轴同步转动，第一微镜用于入射激光的扫描反射，第二微镜用于同步接收反射激光，驱动电...