本发明属于半导体晶圆生产过程的液循环系统技术领域，公开了一种防漏液水泵及使用方法，其中的防漏液水泵，包括水箱以及通过水箱安装的电机和泵体，其中，泵体在电机的驱动下，将水箱内的液体由内向外泵出；电机和泵体的连接部位位于水箱的内部；电机和泵...

本发明属于半导体晶圆生产过程中冷却液的泵循环技术领域，公开了一种循环系统的自动排气装置，包括排气盒，排气盒内部中空，排气盒的盒璧设有泵端孔；排气盒的顶璧连接与内腔相通的补液管以及排气管；排气盒的盒璧连接与内腔相通的回液管；其中，泵端孔的...

本发明新型涉及半导体晶圆生产环境控温技术领域，且公开了一种套管式换热系统设计，包括水箱，所述水箱设置在安装架顶部，所述水箱侧面设置有输送管，所述水箱侧旁设置有加热桶，加热桶侧面设置有套管式换热器，所述水箱下方设置有水泵，套管式换热器底端...

本发明公开了一种半导体晶圆生产用双机复叠恒温机组，通过设置制冷系统，增加了二级水冷的预冷板换，排气温度经水冷板换降温后进入油分离器，降低温度的制冷剂中的润滑油蒸汽可以液化为油滴，增加了油分的分油效率，使进入制冷系统的润滑油量减少，降低了...

本发明涉及制冷设备技术领域，且公开了一种节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，包括高温电子膨胀阀，所述高温电子膨胀阀的上端设置有高温蒸发器。该节能的宽温段双机复叠低温机组蒸发器模组装置，增加了高温电子膨胀阀和高温蒸发器，可以使系统...

本发明公开了一种输出电压可宽范围调节的开关电源，包括整流电路，整流电路包括第一MOS管Q1、第二MOS管Q2、第三MOS管Q3和第四MOS管Q4等四个桥臂组成，第一MOS管Q1信号连接有开关V1，第二MOS管Q2信号连接有开关V2，第三...

本发明公开了一种温控设备，针对现有温控装置拆装麻烦的问题，提供了以下技术方案，包括总支架、用于对循环液进行冷却的制冷循环机构、用于对循环液进行输送并对外部装置进行控温的水循环机构、用于对制冷循环机构以及水循环机构进行电动控制的电控机构，...

本发明公开了一种半导体晶体制冷水冷换热装置及其使用方法，应用在电晶制冷领域，其技术方案要点是：包括换热器，换热器设置有冷端换热器和热端换热器；在冷端换热器和热端换热器之间设置半导体晶体，冷端换热器的外端连接有水泵，水泵的外端安装连接过滤...

本实用新型涉及冷却设备技术领域，具体涉及一种节能型热交换机，包括制冷系统、冷却储液系统和控制系统，所述控制系统分别与制冷系统和冷却储液系统电性连接，本实用新型有主动降温和节能降温两种热量传递途径，控制系统根据温度反馈自动进行主动降温模式...

本实用新型涉及一种流量监测电路，具体涉及一种基于电磁流量计的霍尔元件流量监测电路，包括电源模块、霍尔元件、滤波单元和储能单元，所述电源模块包括供电电源和降压单元，所述供电电源与降压单元电性连接，所述降压单元与霍尔元件电性连接，所述滤波单...

本实用新型提供一种基于半导体制冷片的小型控温装置，应用于温度控制技术领域，包括制冷机构、第一热交换器和第二热交换器，制冷机构包括热交换组件、第一基板、第二基板和电源，热交换组件包括至少一个热电偶对，第一基板的一端与热交换组件接触，另一端...

本实用新型公开了一种具有冷量卸载功能的制冷系统，针对现有的制冷系统的卸冷方式会造成压缩机温度升高，导致压缩机过热停机的问题，提供了以下技术方案，包括蒸发器、冷凝器和制冷回路，制冷回路包括升压流路和降压流路，冷凝器分别通过升压流路和降压流...

本实用新型公开了一种自补液水循环系统，应用在水循环技术领域，其技术方案要点是：包括主水箱，安装在主水箱内部的中间水箱、与中间水箱连接的加热丝桶，加热丝桶的一端与中间水箱的底端连接，中间水箱的另一端设置管道与水泵连接，在加热丝桶的一端延伸...

本发明公开了一种用于半导体晶圆制造的温控系统，包括氟路系统循环装置、冷却液循环装置以及厂务水回路装置。本发明通过氟路系统循环装置利用第一板式换热器和第二板式换热器分别与冷却液循环装置以及厂务水回路装置连通，方便冷却液循环装置以及厂务水回...

本实用新型公开了一种温控设备用水系统的过滤装置，应用在过滤装置领域，解决了杂质堵塞吸附剂，影响吸附剂再生能力的技术问题，其技术方案要点是包括上壳和下壳，上壳设置有进水管和出水管，下壳内填充有吸附剂；进水管和出水管伸入壳体处设置有滤水管，...

本实用新型公开了一种温控设备，包括热交换装置与排气装置；热交换装置包括液泵、出液管道、加热器，加热器进口端与液泵出口端相连通，加热器的出口端与出液管道的进口端相连通，出液管道的出口端与液泵的进口端相连通，排气装置并联连接于出液管道出口端...

本实用新型公开了一种电柜用安装车，包括底板、四个万向轮、两根方形立柱、若干磁铁，四个万向轮分别固定位于底板的底部四角处，两根方形立柱分别位于底板顶部中间位置的左侧与右侧，若干磁铁分别嵌设于两根方形立柱的前侧部与后侧部。本实用新型具有方便...

本发明公开了一种温控设备，包括热交换装置与排气装置；热交换装置包括液泵、出液管道、加热器，加热器进口端与液泵出口端相连通，加热器的出口端与出液管道的进口端相连通，出液管道的出口端与液泵的进口端相连通，排气装置并联连接于出液管道出口端处；...