一种温控设备制造技术

本发明专利技术公开了一种温控设备，针对现有温控装置拆装麻烦的问题，提供了以下技术方案，包括总支架、用于对循环液进行冷却的制冷循环机构、用于对循环液进行输送并对外部装置进行控温的水循环机构、用于对制冷循环机构以及水循环机构进行电动控制的电控机构，其中，水循环机构和制冷循环机构通过一根连接管连接并与总支架固定连接，方便水循环机构和制冷循环机构独立拆装，电控机构固定在总支架的顶部并与水循环机构以及制冷循环机构通过电性连接，水循环机构包括用于排气并补液的补液箱、三通阀，通过控制三通阀能够实现补液箱的独立拆装。装。装。

【技术实现步骤摘要】
一种温控设备


[0001]本专利技术涉及一种温度控制装置，更具体地说，它涉及一种温控设备。

技术介绍

[0002]自半导体诞生以来，其很大程度上改变了人类的生产和生活，半导体除了在计算结领域应用之外，还广泛地应用于通信、网络、自动遥感及国防科技领域。其中，蚀刻工艺是半导体加工的一个重要环节，蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类，不同的刻蚀工艺对温度的需求各不相同，这就对温控设备提出了更高的要求，当前温控设备结构复杂，维修时不方便拆卸，也是当前面临的一大问题。
[0003]目前，申请号为201110247640.9的中国专利公开了一种温控装置，它包括制冷装置、循环液回路单元和控制器。制冷装置包括蒸发装置和冷凝装置。循环液回路单元包括电动三通阀和温度传感器。循环液通过电动三通阀进入蒸发装置和冷凝装置。当温度传感器感测到循环液的温度高于设定值，控制器控制电动三通阀增大循环液流经冷凝装置的比例，当循环液的温度低于设定值，减少循环液流经冷凝装置的比例。
[0004]这种温控装置虽然能够实现温度控制并达到节能的目的，但是冷凝装置与蒸发装置的温度难以统一，冷却汇集后的循环液因温度差会使得温度产生变化，难以满足精准控温的需求，同时制冷装置与循环液回路单元之间穿插了很多管路，结构复杂，不便于拆卸。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种温控装置，具有便于模块化拆装的优点。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种温控设备，包括用于对循环液进行冷却的制冷循环机构、与所述制冷循环机构连接用于对循环液进行输送并对外部装置控温的水循环机构、用于对所述制冷循环机构以及所述水循环机构进行电动控制的电控机构；所述制冷循环机构包括接通冷却液的蒸发器，所述蒸发器设有接通所述水循环机构的连接管；所述水循环机构包括与所述连接管接通的三通阀、与所述三通阀接通的液泵、与所述液泵连通的加热器，循环液依次流经所述蒸发器、三通阀、液泵、加热器并形成第一循环回路，还包括并联在所述第一循环回路中用于排气并补液的补液箱，所述补液箱连通所述三通阀并与所述液泵接通。
[0007]采用上述技术方案，水循环机构中的循环液能够流经外部装置对外部装置进行温度控制，电控机构控制制冷循环系统能够对水循环机构中的循环液进行冷却，使其降温并达到设定温度，电控机构控制水循环机构中的加热器能够对循环液进行加热，使其升温并达到设定温度，通过制冷循环机构和水循环机构中加热器的配合，实现对循环液温度的调
节，进而实现对外部装置的温度控制，液泵能够对循环液进行加压，为水循环提供动力，加热器设置在液泵的下游处，循环液经加热后直接通向外部装置，减少了热量的散失，精准地调节循环液在第一循环回路中的温度，补液箱能够对循环液进行补液和更换，同时能够排出循环液中的气体，防止气体进入液泵导致液泵空转，起到了保护液泵的作用，补液箱仅通过一个三通阀并联在第一循环回路中，在实现上述功能的同时且结构简单，方便对补液箱进行整体更换和拆装，具有方便模块化装配的优点，同时，整个设备分为制冷循环机构、水循环机构、电控机构三大模块，制冷循环机构和水循环机构通过一根连接管就能将两个模块相连接，结构简单，维修时便于更换，解决了因管路过多而导致的拆装时费时费力的问题，实现了设备的模块化拆装。
[0008]进一步，所述制冷循环机构还包括压缩机、与所述压缩机接通的冷凝器、与所述冷凝器接通的过滤器、与所述过滤器接通的视液镜、与所述视液镜连接的泄压组件，冷却液依次流经所述压缩机、冷凝器、过滤器、视液镜、泄压组件、蒸发器并形成第二循环回路。
[0009]采用上述技术方案，压缩机能够将低温低压的气体转化为高温高压的气体，经冷凝器和过滤器后转化为低温低压的液体，最后在蒸发器中汽化吸热转化为低温低压的气体，其中，过滤器能够过滤掉冷却液中的杂质以及压缩机运行所产生的粉末碎屑，防止其堵塞管路，视液镜方便观察管路内的液体，防止压缩机空转。
[0010]进一步，所述泄压组件包括与所述视液镜接通的三通管件、与所述三通管件接通的第一电子膨胀阀、与所述三通管件接通的第二电子膨胀阀，所述第一电子膨胀阀接通蒸发器的入口端，所述第二电子膨胀阀接通蒸发器的出口端。
[0011]采用上述技术方案，第一电子膨胀阀和第二电子膨胀阀能够配合对制冷循环机构中的冷却液进行泄压，避免冷却液经过蒸发器时因压力过大导致热交换不充分。
[0012]进一步，所述压缩机的出口端接通用于控温的热气旁通阀，所述热气旁通阀接通所述蒸发器的入口端。
[0013]采用上述技术方案，热气旁通阀能够控制进入蒸发器中的冷媒量，达到控温的目的。
[0014]进一步，所述压缩机的入口端设有低压检测器，所述压缩机的出口端设有高压检测器。
[0015]采用上述技术方案，低压检测器和高压检测器能够检测冷却液进出压缩机前后的压力值，便于检测冷却液进出压缩机前后的压力值变化。
[0016]进一步，所述三通阀与所述液泵之间设有第一管道，所述第一管道接通排液管道，所述排液管道安装控制阀。
[0017]采用上述技术方案，排液管道能够将第一循环回路中的循环液排出，方便循环液的排放，控制阀起到了控制循环液排放的作用。
[0018]进一步，所述加热器上设有泄压管道，所述泄压管道连通所述排液管道，所述泄压管道上设有泄压阀。
[0019]采用上述技术方案，循环液经过液泵加压后，泄压管道能够调节循环液的压力，对循环液进行泄压，避免了循环液在压力过大时流经加热器导致的加热不充分、无法精准调节温度的现象。
[0020]进一步，所述连接管上设有第一温度检测器。
[0021]采用上述技术方案，第一温度检测器能够检测循环液冷却后的温度，便于监控循环液是够降低到设定温度。
[0022]进一步，所述加热器的出口端依循环液流向设有泵压检测器、第二温度检测器。
[0023]采用上述技术方案，泵压检测器能够检测循环液经加压后的压力值，第二温度检测器能够检测经加热器加热后循环液是否达到设定温度。
[0024]进一步，所述蒸发器开设循环液进液口，所述蒸发器的循环液进液口处安装流量计。
[0025]采用上述技术方案，流量计能够检测循环液进液口处的循环液的流量。
[0026]综上所述，本专利技术具有以下有益效果：1.水循环机构中的循环液能够流经外部装置对外部装置进行温度控制，制冷循环机构能够对水循环机构中的循环液进行冷却，使其冷却至设定温度，水循环机构中的加热器能够对循环液进行加热，使其加热至设定温度，电控机构能够控制制冷循环机构和水循环机构配合，实现对循环液温度的调节，水循环机构、制冷循环机构、电控机构三大模块相对独立，水循环机构和制冷循环机构仅通过一根连接管将两个模块连接就能够实现上述功能，结构简单，方便拆装，解决了因管路过多而导致的拆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温控设备，其特征在于：包括用于对循环液进行冷却的制冷循环机构(1)、与所述制冷循环机构(1)连接用于对循环液进行输送并对外部装置控温的水循环机构(2)、用于对所述制冷循环机构(1)以及所述水循环机构(2)进行电动控制的电控机构(3)；所述制冷循环机构(1)包括接通冷却液的蒸发器(17)，所述蒸发器(17)设有接通所述水循环机构(2)的连接管(4)；所述水循环机构(2)包括与所述连接管(4)接通的三通阀(22)、与所述三通阀(22)接通的液泵(23)、与所述液泵(23)连通的加热器(24)，循环液依次流经所述蒸发器(17)、三通阀(22)、液泵(23)、加热器(24)并形成第一循环回路(26)，还包括并联在所述第一循环回路(26)中用于排气并补液的补液箱(25)，所述补液箱(25)连通所述三通阀(22)并与所述液泵(23)接通。2.根据权利要求1所述的一种温控设备，其特征在于：所述制冷循环机构(1)还包括压缩机(12)、与所述压缩机(12)接通的冷凝器(13)、与所述冷凝器(13)接通的过滤器(14)、与所述过滤器(14)接通的视液镜(15)、与所述视液镜(15)连接的泄压组件(16)，冷却液依次流经所述压缩机(12)、冷凝器(13)、过滤器(14)、视液镜(15)、泄压组件(16)、蒸发器(17)并形成第二循环回路(18)。3.根据权利要求2所述的一种温控设备，其特征在于：所述泄压组件(16)包括与所述视液镜(15)接通的三通管件(161)、与所述三通管件(161...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光光，刘鹤群，
申请(专利权)人：无锡暖芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：