一种具有冷量卸载功能的制冷系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种具有冷量卸载功能的制冷系统，针对现有的制冷系统的卸冷方式会造成压缩机温度升高，导致压缩机过热停机的问题，提供了以下技术方案，包括蒸发器、冷凝器和制冷回路，制冷回路包括升压流路和降压流路，冷凝器分别通过升压流路和降压流路与蒸发器连接，降压流路中设置有压缩机，压缩机的入口端和蒸发器的出口端之间的降压流路中设置第一接口，升压流路中设置第二接口，第一接口和第二接口共同连通卸冷回路，卸冷回路中设置有卸冷膨胀阀，卸冷回路与冷凝器的两端连接。当冷量过高时，多余部分冷媒通过卸冷膨胀阀开启，从而进入冷凝器内吸收热量，从而将多余冷量释放到冷凝器中。量释放到冷凝器中。量释放到冷凝器中。

【技术实现步骤摘要】
一种具有冷量卸载功能的制冷系统


[0001]本技术涉及晶圆加工制冷系统领域，更具体地说，它涉及一种具有冷量卸载功能的制冷系统。

技术介绍

[0002]半导体晶圆在加工制造过程中需要对环境温度进行精确控制，由于不同工作机台或生产过程中存在异常周期波动时产生的热负荷不尽相同，因此温控系统设计时需要考虑在极端工况条件下的使用状态，热负荷计算时通常都会预留一定的余量，而在正常工况条件下使用时就会出现冷量大于实际需求的状态，此时就必需将多余的冷量卸载掉，以确保温度波动在允许范围内。
[0003]当前制冷系统正常运行时，低温低压气液混合态冷媒在蒸发器吸收冷却循环液的热量沸腾蒸发变成低温低压的气态冷媒后，经过汽液分离器后进入压缩机压缩成高温高压气态冷媒然后进入冷凝器内，将热量释放到厂务水侧变成中温高压液态冷媒经过节流降压后变成低温低压汽液混合态冷媒再次进入板式换热器内沸腾蒸发吸收冷却循环液的热量完成再次循环。
[0004]当系统输出冷负荷超过实际需求时，为保证循环液温度波动在允许范围内，需将多余的冷量卸载掉，部分高温高压气态冷媒直接进入蒸发器内使蒸发压力升高从而使蒸发温度随之升高，从而实现将多余的冷量卸载的目的。
[0005]但是，通过将高温高压排气卸载到蒸发器内的冷量卸载方式，会造成压缩机吸气侧温度上升，最终导致压缩机排气温度升高，从而引起压缩机因排气温度过高而保护停机。因此，这种卸冷方式存在一定的改进空间。

技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种具有冷量卸载功能的制冷系统，具有避免了压缩机排气温度过高造成的影响的优点。
[0007]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
[0008]一种具有冷量卸载功能的制冷系统，包括蒸发器、冷凝器和制冷回路，制冷回路包括升压流路和降压流路，冷凝器分别通过升压流路和降压流路与蒸发器连接，降压流路中设置有压缩机，压缩机的入口端和蒸发器的出口端之间的降压流路中设置第一接口，升压流路中设置第二接口，第一接口和第二接口共同连通卸冷回路，卸冷回路中设置有卸冷膨胀阀，卸冷回路与冷凝器的两端连接。
[0009]采用上述技术方案，通过设置卸冷回路和卸冷膨胀阀，当冷量输出过高时，开启卸冷膨胀阀，过量的冷媒会流入到冷凝器中吸收冷凝器的热量，从而使制冷系统的冷量下降，从而对制冷系统的冷量输出实现控制，与此同时，由于冷量释放到冷凝器后，制冷系统的冷凝器的散热能力将大幅提高，有助于使制冷系统的制冷效率更加高效，有助于减少能源的投入，实现节能减排。
[0010]进一步，升压流路中设置用于检测冷媒状态的视液窗。
[0011]采用上述技术方案，通过在升压流路中设置视液窗，方便工作人员在第一时间发现管道内冷媒的异常状态，有助于使工作人员能够第一时间进行制冷系统的检修工作，防止损失进一步扩大。
[0012]进一步，升压流路中设置用于过滤冷媒内水分的干燥过滤器。
[0013]采用上述技术方案，通过在升压流路中设置干燥过滤器，能够过滤掉冷媒中的杂质和水分，从而能够使制冷系统的运行更加稳定，防止制冷系统的内部管道结冰。
[0014]进一步，升压流路中设置用于控制冷媒流量的制冷膨胀阀。
[0015]采用上述技术方案，通过设置制冷膨胀阀能够控制升压流路中冷媒的流量，从而进一步控制制冷系统的输出冷量，便于使卸冷效果更好，使制冷系统的输出冷量的控制效果更好。
[0016]进一步，降压流路中设置用于检测管道内压强的高压压力传感器。
[0017]采用上述技术方案，便于第一时间检测到降压流路中的压力变化，方便工作人员第一时间发现故障并进行检修，便于进一步减少经济损失，防止故障扩大。
[0018]进一步，冷凝器包括用于盛放冷却水的冷却水箱，冷却水箱中设置多个与制冷回路和卸冷回路连接用于增强冷媒热交换效率的板式换热器。
[0019]采用上述技术方案，冷凝器的冷却效果好，能够防止冷媒稳定大量升高，有助于保持制冷系统的制冷效率保持稳定。
[0020]进一步，冷却水箱连接循环水路，循环水路中设置用于提供动力的循环水泵。
[0021]采用上述技术方案，通过循环水路能够保持冷却水箱中的冷却水保持低温，有助于进一步提高冷凝器的冷却效率。
[0022]综上所述，本技术具有以下有益效果：
[0023]1.本制冷系统的冷量卸载方式高效，且不会使压缩机温度大量升高造成压缩机过热停机；
[0024]2.本制冷系统的制冷效率高效，且制冷效率随运行时间变动不大；
[0025]3.本制冷系统不易发生故障，且当故障发生时，工作人员能够很方便地第一时间发现并进行排查。
附图说明
[0026]图1为本技术中一种具有冷量卸载功能的制冷系统的二维管路示意图。
[0027]图中：1、升压流路；2、降压流路；3、卸冷回路；4、压缩机； 5、蒸发器；6、冷凝器；7、制冷膨胀阀；8、卸冷膨胀阀；9、干燥过滤器；10、视液镜；11、高压压力传感器；12、冷却水箱；13、板式换热器；14、循环水路；15、循环水泵；16、第二接口；17、第一接口。
具体实施方式
[0028]下面结合附图及实施例，对本技术进行详细描述。
[0029]本具体实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对本技术的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。
[0030]一种具有冷量卸载功能的制冷系统，参见图1，包括蒸发器5、冷凝器6和制冷回路，制冷回路包括升压流路1和降压流路2，冷凝器6分别通过升压流路1和降压流路2与蒸发器5连接，降压流路2 中设置有压缩机4，压缩机4的入口端和蒸发器5的出口端之间的降压流路2中设置第一接口17，升压流路1中设置第二接口16，第一接口17和第二接口16共同连通卸冷回路3，卸冷回路3中设置有卸冷膨胀阀8，卸冷回路3与冷凝器6的两端连接。
[0031]具体的，参见图1，冷凝器6包括冷却水箱12，冷却水箱12中设置有两个板式换热器13，其中一个板式换热器13设置在制冷回路中，另一个板式换热器13设置在卸冷回路3中。冷却水箱12中充满冷却水，冷却水箱12连接循环水路14，循环水路14中设置控制冷却水流动的循环水泵15。
[0032]参见图1，制冷回路由升压流路1和降压流路2组成，管路中的冷媒在制冷回路中流动参与制冷工作。升压流路1中设置用于控制冷媒进入蒸发器5的流量的制冷膨胀阀7，通过制冷膨胀阀7能够提交冷媒进入蒸发器5的流量，以改变蒸发器5的吸热量。
[0033]参见图1，升压流路1中，在靠近冷凝器6出口的位置设置干燥过滤器9，通过干燥过滤器9能够有效除去冷却水箱12中可能渗入管内的水分，防止整个制冷回路出现故障。升压流路1中还设置用于观察管道内冷媒情况的视液镜10，便于在第一时间发现冷媒状态的异常，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有冷量卸载功能的制冷系统，包括蒸发器(5)、冷凝器(6)和制冷回路，其特征在于：所述制冷回路包括升压流路(1)和降压流路(2)，所述冷凝器(6)分别通过升压流路(1)和降压流路(2)与蒸发器(5)连接，所述降压流路(2)中设置有压缩机(4)，所述压缩机(4)的入口端和蒸发器(5)的出口端之间的降压流路(2)中设置第一接口(17)，所述升压流路(1)中设置第二接口(16)，所述第一接口(17)和第二接口(16)共同连通卸冷回路(3)，所述卸冷回路(3)中设置有卸冷膨胀阀(8)，所述卸冷回路(3)与冷凝器(6)的两端连接。2.根据权利要求1所述的一种具有冷量卸载功能的制冷系统，其特征在于：所述升压流路(1)中设置用于检测冷媒状态的视液窗。3.根据权利要求1所述的一种具有冷量卸载功能的制冷系统，其特征在于：所述升...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光光，邱继伟，
申请(专利权)人：无锡暖芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：