本实用新型公开一种离子束设备用双灯丝中和器，包括法兰、支杆、支架、灯丝A、灯丝B、导线A、导线B、四个电极组成。由于采用独立于离子源的中和器方式，并配备二根灯丝，中和器中和效率高，灯丝不受离子束直接轰击，灯丝寿命长，整机设备工作效率高，...

本实用新型公开一种双离子束共溅射纳米膜设备，包括：真空室、左右侧离子源、工件组件、左右侧靶台、辅源、抽气系统、膜厚测量仪等组成。由于采用二个溅射主源、二个靶台、一个辅源，可一直性安装最多八种靶材，实现不破坏真空的情况下连续溅射制备多层薄...

本发明公开一种离子束设备用双灯丝中和器，包括法兰、支杆、支架、灯丝A、灯丝B、导线A、导线B、四个电极组成。由于采用独立于离子源的中和器方式，并配备二根灯丝，中和器中和效率高，灯丝不受离子束直接轰击，灯丝寿命长，整机设备工作效率高，灯丝...

本实用新型公开了一种压紧式薄膜压力传感器，包括接压件、敏感组件、压紧螺帽、壳体组成。所述敏感组件安装在接压件的凹位腔内；所述敏感组件的密封凹部安装有密封圈，使用压紧帽将敏感组件和接压件咬合紧密形成一个完全密封整体，当流体压力通过所述引压...

本发明公开了一种多工位水冷靶及其制造方法，包括制造靶体、集水管、进水管、堵水件、回水管、回水弯管、靶套等。将各部件组装焊接形成多工位水冷靶。由于采用螺旋槽设计的直接水冷通道，并将靶体套入靶套内，安装在靶套表面的靶材由于离子束轰击产生的热...

本实用新型公开了一种新型薄膜由壬压力传感器，包括敏感芯体、球头、紧固栓、壳体、调理电路板组成。利用离子束溅射技术和精密光刻技术制造敏感芯体；将各部件组装并进行疲劳和高低温试验制成新型薄膜由壬压力传感器。由于采用了溅射薄膜技术制造压力芯体...

本实用新型公开了一种带缓冲器的快速响应薄膜压力传感器，包括接压件、敏感组件、壳体、调理电路板、内外引线、缓冲器等组成。所述弹性体压入接压件的第一凹位腔，使用锁紧环嵌入所述接压件的第二凹位腔，完成弹性组件与所述接压件紧密装配；当流体压力作...

本发明公开一种双束共溅射连续多层薄膜镀膜方法和镀膜设备，所述连续多层薄膜镀膜方法包括：准备靶材；安装工件；设置参数，启动抽气系统；启动辅源，对工件进行离子束表面原位剥离清洗；启动左右二个离子源轰击靶材，使靶材原子沉积在工件表面；旋转靶台...

本发明公开了一种快速响应薄膜压力传感器及其制造方法，包括制造接压件、敏感组件、壳体、调理电路板、内外引线、缓冲器等。将各部件组装并进行疲劳和高低温试验制成快速响应薄膜压力传感器。由于在传感器引压孔中增加缓冲器，缓冲器的上端开有小直径压力...

本发明公开了一种新型由壬压力传感器及制造方法，制造方法包括制造敏感芯体、球头、紧固栓、壳体；利用离子束溅射技术和精密光刻技术加工敏感芯体；将各部件组装并进行疲劳和高低温试验制成新型由壬压力传感器。由于采用了溅射薄膜技术制造压力芯体，敏感...

本发明公开了一种弹性组件压紧式压力传感器及其制造方法，制造方法包括分别制造接压件、敏感组件、压紧帽、壳体等，将各部件组装并进行疲劳和高低温试验制成弹性组件压紧式压力传感器。由于采用弹性体与接压件结构分体设计，弹性体通过压紧帽压紧密封。弹...