压紧式薄膜压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种压紧式薄膜压力传感器，包括接压件、敏感组件、压紧螺帽、壳体组成。所述敏感组件安装在接压件的凹位腔内；所述敏感组件的密封凹部安装有密封圈，使用压紧帽将敏感组件和接压件咬合紧密形成一个完全密封整体，当流体压力通过所述引压孔，达到弹性体的内腔，并作用在弹性体的弹性膜片上时，所述弹性膜片上的测量电路输出与所受压力成比例的电信号，通过检测输出信号即可得到压力值的大小。由于采用弹性体与接压件分体设计。弹性体一旦在疲劳、高低温老化、引线、焊接等工艺过程中出现问题时容易更换，不至于整个产品报废。这样，压紧式薄膜压力传感器同时具有精度高、稳定性好、可靠性高、工作寿命长、成本低等优点。

Compressive thin film pressure sensor

The utility model discloses a compacting thin film pressure sensor, which comprises a pressure joint, a sensitive component, a compacting nut and a shell. The sensitive component is mounted in the concave cavity of the pressure connector; the sealing concave of the sensitive component is mounted with a sealing ring, and the sensitive component and the pressure connector are occluded tightly to form a completely sealed whole by using a pressure cap. When the fluid pressure passes through the pressure-inducing hole, the inner cavity of the elastomer is reached, and when the fluid pressure passes through the pressure-inducing hole, the measuring circuit on the elastomer diaphragm is output. The pressure value can be obtained by detecting the output signal of the electrical signal proportional to the pressure. Because of the split design of elastomer and joint. Elastomer is easy to replace when problems arise in fatigue, high and low temperature aging, lead, welding and other processes, so that the whole product will not be scrapped. In this way, the compacted thin film pressure sensor has the advantages of high accuracy, good stability, high reliability, long working life and low cost.

【技术实现步骤摘要】
压紧式薄膜压力传感器
本技术涉及传感器
，尤其涉及一种压紧式薄膜压力传感器。
技术介绍
溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有测量精度高、量程大、工作温度范围宽、可靠性高、稳定性好等优点，在航空航天、武器装备、石油化工、冶金、能源、交通、工业过程控制、物联网等许多领域得到广泛应用。现有的薄膜压力传感器产品加工过程的常规做法是将弹性体焊接在引压嘴上，产品一旦在疲劳、高低温老化、引线、焊接等工艺过程中出现问题，整个产品将全部报废，生产成本成倍增加，影响企业生产效益，也限制了薄膜压力传感器全面推广应用。因此，开发一种保留有薄膜压力传感器优良性能的、生产成本较低的压紧式薄膜压力传感器极其重要。溅射薄膜压力传感器是采用真空原子薄膜沉积技术，将绝缘材料、应变敏感材料、保护材料等沉积在弹性体表面而形成的一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长等优点。利用溅射薄膜压力传感器弹性体以及接压件的合理分体结构设计，制造压紧式薄膜压力传感器，可以很好的解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述问题，提供一种压紧式薄膜压力传感器，以实现测量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压紧式薄膜压力传感器，其特征在于，包括：下部中心加工有引压孔(11)、上部中心加工有与所述引压孔(11)连通的凹位腔(15)、所述凹位腔(15)边缘加工有压紧螺纹(14)的接压件(1)；敏感组件(2)；压紧帽(3)；壳体(4)组成，所述敏感组件(2)安装在所述接压件(1)的凹位腔(15)内；所述敏感组件(2)的密封凹部(215)安装有密封圈(25)，使用所述压紧帽(3)将所述敏感组件(2)和接压件(1)咬合紧密形成一个完全密封整体，当流体压力通过所述引压孔(11)，达到弹性体(22)的内腔(222)，并作用在弹性体(22)的弹性膜片上时，所述弹性膜片上的测量电路输出与所受压力成比例的电...

【技术特征摘要】
1.一种压紧式薄膜压力传感器，其特征在于，包括：下部中心加工有引压孔(11)、上部中心加工有与所述引压孔(11)连通的凹位腔(15)、所述凹位腔(15)边缘加工有压紧螺纹(14)的接压件(1)；敏感组件(2)；压紧帽(3)；壳体(4)组成，所述敏感组件(2)安装在所述接压件(1)的凹位腔(15)内；所述敏感组件(2)的密封凹部(215)安装有密封圈(25)，使用所述压紧帽(3)将所述敏感组件(2)和接压件(1)咬合紧密形成一个完全密封整体，当流体压力通过所述引压孔(11)，达到弹性体(22)的内腔(222)，并作...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑志强，
申请(专利权)人：伟业智芯北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11