公开能够测定边缘区域的特性的监测设备及其制造方法。所述监测设备包括下盖、排列于所述下盖上的引导部、在上部排列至少一个电子元件的电路模块以及排列于所述引导部及所述电路模块上的上盖。其中，所述引导部形成有空间，所述电路模块排列于所述空间内。

公开能够在半导体工艺或显示器工艺中轻易地诊断设备的性能的能够大面积测量的监测设备。所述监测设备包括保护层、排列于所述保护层内部的空间的基板及排列于所述基板上的至少一个电子元件。其中，所述电子元件具有至少一个传感器，所述监测设备利用所述传...