本技术公开了一种入口流道Tesla结构的多腔压电气泵，包括：隔板、上泵体、压电振子、下泵体；所述的隔板为在一个象限点上设有通孔的单孔隔板；所述的上泵体设有：上泵体第一象限孔、上泵体第二象限孔、上泵体第三象限孔、上泵体第四象限孔、上泵体入...

本实用新型公开了一种加压泄气漏气压电微泵，它包括：保压室