一种加压泄气漏气压电微泵制造技术

技术编号:39689393 阅读:17 留言:0更新日期:2023-12-14 20:29
本实用新型专利技术公开了一种加压泄气漏气压电微泵,它包括:保压室

【技术实现步骤摘要】
一种加压泄气漏气压电微泵


[0001]本技术设计流体控制
,具体涉及一种加压泄气漏气压电微泵
.
技术背景
[0002]近几年来,随着微机电系统技术的快速发展,作为其重要分支的微流体控制系统因其控制精度高,尺寸小,功耗低而备受青睐

微泵是构成流体控制系统的重要部件,它可以精确的控制流体的流量

[0003]与其他驱动方式的微泵相比,压电微泵有着结构简单,体积小,质量轻,噪声低,无电磁干扰且可通过施加不同的电压和频率来控制输出流量等优点,在流体输送,合成,微量流体合成和精确控制领域有着广泛的应用前景

[0004]压电微泵能够实现快速充放气,可广泛应用于腕式血压计

智能手表和智能手环等智能穿戴设备,提升泵的性能成为提升产品性能的关键因素

应用于智能穿戴设备中的压电微泵为了实现结构上的微小型化,采用阀片将泵腔分割成进气侧和出气侧,通过控制泵进气侧与出气侧的压力,实现充泄气过程

[0005]现有微泵的主要问题有:
[0006]1.
结构松散,制造及组装困难,不利于过程管控,难以进一步降低生产过程中的废品率而造成较高的资源浪费;
[0007]2.
不易实现压电微泵的微小型化和轻薄化;
[0008]3.
压电微泵在充气加压后,很难再进行泄气漏气


技术实现思路

[0009]本技术的目的是为了解决既有压电微泵产品,由于结构松散<br/>、
制造及组装困难,不利于过程管控,难以降低生产过程中的废品率,实现微小型化和轻薄化的问题,而提供一种既可以充气加压

又能泄气漏气的加压泄气漏气压电微泵

[0010]一种加压泄气漏气压电微泵,其特征在于,它包括:入口
1、
垫片
2、
压电振子

泵体和储气装置;
[0011]所述的垫片2设有第二进气孔
22
,与入口1相通,垫片2一个侧面还设有垫片凸出部
23
作为引线;
[0012]所述的泵体包括:上泵体
6、
阀片
7、
下泵体8;
[0013]所述的上泵体6设有第一凹陷部
61、
第二凹陷部
62
,它们均设有通气孔,第二凹陷部
62
设有凸起
621

[0014]所述的下泵体8设有第三凹陷部
81、
第四凹陷部
82
,它们通过通道
83
相通,并设有第二出气孔
831
和出气管
85
;第四凹陷部
82
设有泄气孔
822

[0015]所述的阀片7设有圆孔
72

[0016]第一凹陷部
61
与阀片7组成保压室,与上泵体第二凹陷部
62
形成第一出气腔;阀片的圆孔
72
与下泵体的凸起
621
组成阀;
[0017]第三凹陷部
81
和阀片7组成的第二出气腔;
[0018]第四凹陷部
82
和阀片7组成的泄气腔;凸出部
821
与阀片7组成阀,控制加压和泄气;
[0019]所述的压电振子包括基板
3、
陶瓷4和导线5;
[0020]所述的基板3分为外周基板和圆盘基板,外周基板固定在上泵体上,中间为一个基板圆盘,圆盘基板通过铰链
31
与外周基板相连,陶瓷4固定在基板圆盘上,圆盘基板的另一侧设有圆形凸起的反射层
32
,铰链
31
间设有通气孔

[0021]所述的上泵体6第一凹陷部
61
的通气孔
611
为多个阵列孔,进气时用于使阀片产生弹性形变封堵泄气孔
822

[0022]所述的阀片7的材料为硅橡胶材料,厚度在
50
微米到
150
微米之间

[0023]垫片2上的第二进气孔
22
周围设有多个拱形开口部
21
,垫片2为不锈钢材料

[0024]所述的入口1设有多条进气通道
11
,进气通道
11
末端设有贯穿的第一进气孔
111
,另一端连接到进气腔室
12
,进气通道之间设有拱形槽
13

[0025]进气腔室
12
与垫片2上的第二进气孔
22
相通,拱形槽
13
与垫片2上的拱形开口部
21
相对应;
[0026]所述的入口1的进气通道
11
是收缩扩张管,即进气端宽度小于出气端宽度,可以降低气体回流,进气通道
11
与进气腔室
12
之间有一定角度,气体进入进气腔室
12
后形成涡旋

[0027]所述的下泵体8第三凹陷部
81
中间设有凸出部
821
,所述凸出部
821
上设有贯穿的泄气孔
822。
[0028]所述的上泵体6圆形凹槽
64
里有环形凸起
641
,与压电振子形成泵腔,同时在粘接时可以防止胶水外溢

[0029]本技术提供了一种加压泄气漏气压电微泵,它包括:保压室

第一出气腔

第二出气腔和泄气腔,既可以充气加压

又能泄气漏气

入口的进气通道是收缩扩张管,即进气端宽度小于出气端宽度,可以降低气体回流,进气通道与进气腔室之间有一定角度,气体进入进气腔室
12
后形成涡旋

[0030]采用上述技术方案后,本专利技术具有以下有益效果:
[0031]1、
压电微泵能对性能关键评价指标的正向开启性能和反向截止性能进行检验检测,在中间过程对最终产品质量进行把控,有利于进一步降低废品率,避免基于废品的后续生产过程带来的原材料和人工等资源的浪费;
[0032]2、
整体大多数零件呈平板状,易于加工成型,更易于压电微泵的微小型化和轻薄化,同时,各个零件分体制作,然后贴合封装,有利于批量化生产中的过程管控;
[0033]3、
泄气过程,气体经由侧向设置的泄气孔流出,泄气孔侧置,外设装置安装时无需考虑避让泄气孔,且通气孔所在的连接外设储气装置的安装面平整,便于外设储气装置的安装,提高了产品适用性<本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种加压泄气漏气压电微泵,其特征在于,它包括:入口(1)

垫片(2)

压电振子和泵体;所述的垫片(2)设有第二进气孔(
22
),与入口(1)相通,垫片(2)一个侧面还设有垫片凸出部(
23
)作为引线;所述的泵体包括:上泵体(6)

阀片(7)

下泵体(8);所述的上泵体(6)设有第一凹陷部(
61


第二凹陷部(
62
),它们均设有通气孔,第二凹陷部(
62
)设有凸起(
621
);所述的下泵体(8)设有第三凹陷部(
81


第四凹陷部(
82
),它们通过通道(
83
)相通,并设有第二出气孔(
831
)和出气管(
85
);第四凹陷部(
82
)设有泄气孔(
822
);所述的阀片(7)设有圆孔(
72
);第一凹陷部(
61
)与阀片(7)组成保压室,与上泵体第二凹陷部
62
形成第一出气腔;阀片的圆孔(
72
)与下泵体的凸起(
621
)组成阀;第三凹陷部(
81
)和阀片(7)组成的第二出气腔;第四凹陷部(
82
)和阀片(7)组成的泄气腔;泄气孔(
822
)与阀片(7)组成阀,控制加压和泄气
。2.
根据权利要求1所述的一种加压泄气漏气压电微泵,其特征在于,所述的压电振子包括基板(3)

陶瓷(4)和导线(5);所述的基板(3)分为外周基板和圆盘基板,外周基板固定在上泵体上,中间为一个基板圆盘,圆盘基板通过铰链(
31
)与外周基板相连,陶瓷(4)固定在基板圆盘上,圆盘基板的另一侧设有圆形凸起的反射层(
32
),铰链(
31
)间设有通气孔
。3.
根据权利要求2所述的一种加压泄气漏气压电微泵,其特征在于,所述的上泵体...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘国君王猛曹帅启刘增浩刘润宇傅镪
申请(专利权)人:微纳动力系统苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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