本发明公开了一种用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器，更具体地，本发明公开了用于进行蒸汽清洁的这样的一种蒸汽发生器，在该蒸汽发生器中，多个加热棒依次布置在本体板内，并且清洁液加热管线以围绕所述多个加热棒的形式布置在整个本体板中，使得能够提高对流...

所公开的是一种用于处理基板的设备，该设备具有用于装载、加工、传递以及卸载基板的多级室结构，由此减小占用面积，并且该设备包括设置在装载室和卸载室的内部的传递单元中的大的辊子，使得基板能够在与基板的传递方向平行的方向上装载和卸载，由此简化了...

所公开的是一种用于处理基板的设备，该设备具有用于装载、加工、传递以及卸载基板的多级室结构，该设备允许基板在设备的前侧或后侧进行装载和卸载，从而减小占地面积并且缩短用于处理基板的生产节拍，并且易于对接至另一处理设备。

所公开的是一种用于对基板固化的设备，其中，在基板上形成的金属层的固化过程通过在真空状态下加热来执行，使得金属层中包括的由喷墨法涂覆的溶剂组分可以容易地被去除，从而增大固化效率。