王永鸿专利技术

王永鸿共有1项专利

  • 本发明公开了一种直拉单晶生长装置,其包括籽晶杆、坩埚和连接于坩埚底部的坩埚杆,所述的坩埚的上面设有用于密封坩埚的热壁密封盖,所述的热壁密封盖和坩埚连接部件设有动态密封装置,所述籽晶杆穿过热壁密封盖伸入坩埚室内并与热壁密封盖连为一体。本发...
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