天津威盛株式会社专利

天津威盛株式会社专利技术

天津威盛株式会社共有1项专利

压电薄膜谐振器制造技术

适用本发明之一实施例的压电薄膜谐振器，包括：基板；下部电极，配置在上述基板上；压电层；配置在上述下部电极上；以及，上部电极，配置在上述压电层上；其中，在上述上部电极的上侧面形成围绕谐振区域的凹凸图案。

最后更新日期：2020-06-24 02:32 访问量：52