提供一种抗蚀剂图案形成方法，使用便于操作的非化学增强型抗蚀剂，能获得形状微细且高宽比大的抗蚀剂图案。其中至少包括通过涂覆非化学增强型抗蚀剂在基体材料（２）上形成抗蚀剂层（４）的工序、对抗蚀剂层（４）进行曝光的工序、用９０℃以上１３０℃以...

本发明以提供可获得图形起伏小的掩膜形成方法为其目的，将磁性层（１３）覆盖并形成具有非晶态构造的掩膜形成用功能层（１４），再将掩膜形成用功能层（１４）覆盖形成掩膜形成用功能层（１５），然后，通过规定的处理在掩膜形成用功能层（１５）上形成凹...

本发明涉及的薄膜制造用剥离膜的制造方法是，在基底膜（２）上涂布含有机硅树脂的涂布液（３ａ）之后，使该涂布液（３ａ）干燥，在上述基底膜上形成上述有机硅树脂的剥离层（３），然后将该已形成了剥离层（３）的基底膜（２）卷绕成卷筒状，制得用于制造...

一种元件在部件馈送机的传输通道中传输时用于校准叠层电子元件中叠层平面电极方位的方法和装置。磁场发生单元位于部件馈送机的内侧和外侧，用于施加在水平或垂直方向上延伸的磁场线。电极的方位与磁场线的方向一致。

本发明提供一种即使在狭窄的空间也能够设置的成形装置。成形装置（１）具备控制装置（２）、下冲头部（１０）、成形部（３０）、上冲头部（４０）、横冲头部（６０）。下冲头部（１０）具备第１－１伺服驱动装置（１３）和第１－２伺服驱动装置（１４）。...

本发明提供的超声波振子，具有由超磁致伸缩构件构成的柱状超磁致伸缩杆（１２）、紧密固定在该超磁致伸缩杆（１２）的轴向两端并由直径大于超磁致伸缩杆（１２）的板状构件构成的振动板（１４、１６），它虽为小型且简单的构造，但可以有效地传递由磁致伸...