本发明公开了一种基于数字孪生的半导体设备温控系统故障预测方法，涉及温控故障预测领域，包括：配置温控系统的结构拓扑图，定义温控系统的健康参数向量，配置具备在线的灰盒数字孪生模型，获取温度设定参数与工艺阶段状态参数，并划分温控响应片段，基于...

本发明公开了一种基于多传感器融合的硅片传输自适应纠偏系统及方法，涉及自适应纠偏领域，包括：配置硅片传输机器人机构，并固定传输路径，基于固定传输路径的部署多传感器融合感知单元，配置统一坐标体系和外参标定。通过在固定传输路径上集成环形边缘视...