本发明涉及硅片搬运领域，具体为一种非接触式硅片搬运的环状真空吸盘，包括主筒体，主筒体上设置有用于对硅片圆心部吸附的第一吸附组件，主筒体的外表面固定连接有呈圆周阵列的连接架，每个连接架上均开设有导向槽，每个导向槽内均滑动连接有辅筒体，每个...