苏州威格尔纳米科技有限公司专利技术

苏州威格尔纳米科技有限公司共有37项专利

  • 本实用新型公开了一种多重龙门式平板涂布设备,包括涂布平台,若干个涂布平台在同一水平面上线性排布;涂布模头,若干个涂布平台悬空设于涂布平台的上方;涂布平台的底部连接有导轨,导轨底部连接有底座,涂布模头各自通过龙门架与底座相连接,若干个涂布...
  • 本实用新型公开一种涂布机,包括工作台,工作台上设有涂布单元和至少两个涂布平台,涂布单元具有一用于涂布的涂头,涂布单元能控制其涂头对每个涂布平台上的基片进行涂布作业。本实用新型无论在哪组涂布平台涂布,涂布过程都不会对另一组平台造成影响。本...
  • 一种可拆分加热板
    本发明公开了一种可拆分加热板,包括设置在温控器之上,由温控器控制的加热板本体,所述加热板本体由若干主体为矩形体的独立加热板构成,每块独立加热板表面连接有热电偶,每块独立加热板边框具备有配合结构和具备有隔热效果的隔热边,各独立加热板可以在...
  • 一种涂布模头高度的精确控制方法
    本发明提供一种涂布模头高度的精确控制方法,在涂布过程中,直接利用距离测量仪测定涂布模头到涂布平面的距离,并通过闭环控制完成涂布模头的实时调整,这样可以大大减少因为涂布模头高度位置变化而造成涂布薄膜的影响,以得到厚度均匀一致的高质量薄膜。
  • 一种涂布预干燥处理装置
    一种涂布预干燥处理装置,其包括:加热部;风淋部,其分别与进风管道和回风管道连接,进风管道的端部进入风淋部内并连接有进风头,回风管道的端部进入风淋部内并连接有回风头;涂布载体,其穿过加热部和风淋部;涂液供给部,其向涂布载体上供给涂液。本发...
  • 一种涂布供液系统及其控制方法
    本发明公开一种涂布供液系统,包括存储涂液的储液桶、涂头以及连通储液桶和涂头并能开关的给液管路;还包括回液管路,所述涂头在工作状态时对产品进行涂布作业,在停止涂布作业时与回液管路连接,使给液管路中的液体经涂头和回液管路流回储液桶中。本发明...
  • 一种涂布预干燥处理装置
    本实用新型公开了一种涂布预干燥处理装置,其包括:加热部;风淋部,其分别与进风管道和回风管道连接,进风管道的端部进入风淋部内并连接有进风头,回风管道的端部进入风淋部内并连接有回风头;涂布载体,其穿过加热部和风淋部;涂液供给部,其向涂布载体...
  • 一种衬底吸附平台
    本发明提供一种衬底吸附平台,包括平台本体,所述平台本体内部设有多道相互隔离的环状吸气管路,所述吸气管路由内向外依次扩展排布,每道所述环状吸气管路上开有多个通向所述平台本体上表面的气孔,每道吸气管路均经通气管与吸气装置连接。本发明相较于现...
  • 一种微流量涂布供液控制系统
    本实用新型提供一种微流量涂布供液控制系统,包括储液桶、涂头,所述储液桶与所述涂头间设有给液管路,所述给液管路上设有给液泵、给液流量阀、给液流量计,在所述涂头前端的给液管路上分设分液管路,所述分液管路上设有分液泵、分液流量阀、分液流量计。...
  • 一种防止衬底背面溶液扩散的平台
    本发明提供一种防止衬底背面溶液扩散的平台,用于衬底底面的平面支撑定位,包括平台本体,所述平台本体上设有低于平台本体表面的疏液槽,所述疏液槽设置在两相邻衬底的接合处。疏液槽可以有效避免在两个衬底样片间的狭缝透过的溶液对背面的污染,减少透过...
  • 一种涂布模头冲洗机构
    本实用新型公开了一种涂布模头冲洗机构,包括涂布溶液容器,清洗溶液容器,两个容器引出的管线经由一个进液二位三通阀汇成一根管线,再与泵连接引到另一个出液二位三通阀,继而引出两根管线,其中一根管线引到涂布模头,另一根管线引到外部喷嘴,外部喷嘴...
  • 一种兼顾挤压式狭缝涂布和刮涂涂布功能的涂布设备
    本发明提供一种兼顾挤压式狭缝涂布和刮涂涂布功能的涂布设备,包括:移动涂布平台;龙门式支架,其架设在所述移动涂布平台的上方;模头支架,其安装在所述龙门式支架的顶部;狭缝涂布模头,其安装在所述模头支架上;刮刀,其安装在所述模头支架上。在实现...
  • 一种龙门式平板涂布机
    本实用新型提供了一种龙门式平板涂布机,其包括:涂布平台,其固定设置;龙门式支架,其架设于涂布平台的上方,龙门式支架的底部滑动连接于导轨上,龙门式支架由第一驱动部驱动在导轨上来回滑动;挤压式模头,其悬空设置于涂布平台的上方,挤压式模头还安...
  • 一种具有处理涂布挥发溶剂功能的手套箱
    本实用新型提供一种具有处理涂布挥发溶剂功能的手套箱,涂布装置涂布完成后经涂布载体转移到烘干箱内热处理,将溶剂的挥发主要发生在烘干箱内,烘干箱溶剂净化系统对烘干箱内的挥发溶剂进行冷凝、吸附处理,当手套箱或循环管道内溶剂浓度超标时,启动净化...
  • 一种超声波涂布液控温装置及方法
    本发明公开了一种超声波涂布液控温装置,其包括:储液部,其固定设置于超声波部内;涂布头,其通过给液管路连接储液部,给液管路上安装有第一液泵组件;水浴温控部,其固定设置于给液管路上,水浴温控部上还设置有进水管路和出水管路,进水管路上还安装有...
  • 一种涂布机张力控制与测速系统
    本发明公开了一种涂布机张力控制与测速系统。包括;收卷辊、第一惰辊、张力辊、第二惰辊、放卷辊、基材、速度感应器,其中;收卷辊由伺服电机驱动,伺服电机控制收卷辊转速;张力辊具备张力感应器,测速辊筒自由浮动并与基材的上表面接触,利用自重对基材...
  • 一种旋转式狭缝涂布模头及方法
    本发明公开了一种旋转式狭缝涂布模头,其包括模头,模头垂直布置,模头内设置有储液腔,储液腔分别连通进液口和出液口,进液口和出液口垂直布置,出液口沿着垂直方向将涂布液涂布于涂布对象的表面,模头还连接旋转驱动部,旋转驱动部驱动模头由垂直状态旋...