本技术涉及法兰技术领域，且公开了一种可拆卸式法兰结构，包括第一法兰，活动设置在多数第一法兰内部的管道，以及包括安装在第一法兰顶端与底端的更换拆卸机构，所述更换拆卸机构包括安装在第一法兰顶端的更换固定机构，所述更换固定机构下方安装有拆卸机...

本发明涉及光斑调整技术领域，且公开了一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，转筒右侧和套筒表面均固定连接有转动机构，转动机构上设置有限位机构，镜盖和转筒表面均固定连接有安装机构；转动机构包括连接环，连接环固定连接于套筒表面，连接环左侧固定连...

本实用新型公开了曝光与投影技术领域的一种用于检测微型匀光棒洁净度的装置，包括底座、升降机构和连接块，所述升降机构固定连接在所述底座的顶部后侧，所述连接块固定连接在所述升降机构的顶部，所述底座的顶部中间设有海绵垫块，所述海绵垫块的顶部中间...

本实用新型公开了光学镜片厚度测量设备技术领域的一种光学镜片中心厚度测量装置，包括底座、支撑板和顶板，所述支撑板固定连接在所述底座的顶部右侧，所述顶板固定连接在所述支撑板的顶部，所述支撑板的左侧壁开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内腔滑动连接...

本发明公开了光学镜头领域的一种双远心紫外投影镜头，包括物面、物面保护窗口、镜头保护窗口、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、光阑、第五透镜、第六透镜、像面，并沿光轴依次进行排列，该双远心紫外投影镜头，采用双远心光路设计，通过五透镜和...

本发明公开了透镜技术领域的一种宽幅面紫外投影镜头，包括DMD物面、DMD保护窗口、镜头保护窗口、第一透镜组、光阑和第二透镜组，所述DMD物面、所述DMD保护窗口、所述镜头保护窗口、所述第一透镜组、所述光阑和所述第二透镜组位于同一光轴线，...

本实用新型公开了镜片技术领域的一种高精度的镜片安装装置，包括加工台、螺纹杆和电机，所述螺纹杆螺纹连接在所述加工台的顶部中间，所述电机镶嵌在所述加工台的顶部后侧中间，所述加工台的顶部左侧中间镶嵌有驱动马达，所述驱动马达的输出端固定连接有第...

本实用新型公开了直写光刻技术领域的一种激光直写镜头的放大倍率调节装置，包括镜筒和法兰筒，所述法兰筒通过螺丝固定连接在所述镜筒的外侧壁下侧，所述镜筒的内侧壁上侧固定连接有第一透镜，所述镜筒的内侧壁下侧固定连接有第一固定架，所述法兰筒的内侧...

本实用新型公开了一种高功率激光投影镜头模组的散热机构，包括光纤接头散热组件和模组转接件散热组件，光纤接头散热组件用于与光纤接头的表面相贴并对光纤接头进行散热；模组转接件散热组件用于与模组转接件相连并对模组转接件进行散热。本实用新型通过对...

本实用新型公开了一种用于无掩膜光刻机的曝光镜头，包括激光照明模组、连接基体、第一反射镜、DMD组件及投影模组；连接基体具有和无掩膜光刻机的扫描方向平行的宽度方向、与宽度方向垂直的长度方向、及和宽度方向以及长度方向均垂直的第一方向，连接基...

本实用新型公开了一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构，包括壳体及设于壳体内的准直透镜组、汇聚透镜、DMD芯片组件，其特征在于，照明调节机构还包括有均活动安装于壳体内的第一反射镜和第二反射镜，经过所述准直透镜组的光依次经过所述第一反射镜...

本实用新型公开了一种匀光棒安装治具，包括安装端，安装端设有配合面以及对准面，对准面从配合面延伸而出，对准面位于配合面的形心处，配合面与对准面平行，匀光棒安装治具使用时先将光棒初步安装于壳体的安装孔中，再将光棒安装治具的安装端伸入辅助孔，...

本实用新型公开了一种DMD投影模组检测装置，包括工作台、旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，旋转平台转动安装于工作台，功率计、CCD相机以及白板分别固定于旋转平台，功率计的测试面、CCD相机的焦面以及白板的表面位于同一水平高度，DMD...

本实用新型公开了一种匀光棒检测固定装置，包括安装筒、透明底座以及夹块，安装筒设有安装孔、连接孔以及夹持孔，连接孔位于安装筒底部，夹持孔设置于安装筒侧壁并延伸至安装孔，夹块安装于夹持孔并伸入安装孔夹持匀光棒，透明底座安装于连接孔，使用时，...

本实用新型公开了一种用于无掩膜曝光照明的角度调节机构，包括DMD芯片组件、准直透镜组、汇聚透镜、第一反射镜、第二反射镜以及安装壳体，第二反射镜包括第二镜片以及安装块，第二镜片固定于安装块，安装块通过紧固件活动安装于安装壳体，准直透镜组包...

本实用新型公开了一种用于无掩膜曝光的照明结构，包括DMD窗口、准直透镜组、汇聚透镜、第一反射镜以及第二反射镜，准直透镜组包括若干在一条直线上依次设置的准直透镜，第一反射镜位于准直透镜组与汇聚透镜之间使经过准直透镜组的光反射至汇聚透镜，第...

本实用新型公开了一种曝光镜头的倍率调节结构，包括前透镜组、光阑以及后透镜组，光阑位于前透镜组及后透镜组之间，前透镜组包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜；后透镜组包括依次设置的第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜；第一...

本发明公开了一种混波器，包括壳体、第一输入光纤、第二输入光纤以及输出光纤，混波器还包括二向色镜，二向色镜安装于壳体内部，第一输入光纤、第二输入光纤以及输出光纤安装于壳体，第一输入光纤的光线与第二输入光纤的光线垂直，二向色镜位于第一输入光...

本发明公开了一种无掩膜曝光镜头，包括DMD芯片组件、匀光棒、准直透镜组、汇聚透镜、前透镜组、光阑以及后透镜组，匀光棒、准直透镜组、汇聚透镜以及DMD芯片组件形成照明模组，匀光棒出光面作为照明模组的物面，DMD芯片组件作为照明模组的像面；...

本发明公开了一种便于调节景深的照明模组，包括准直透镜组、汇聚透镜、光圈、安装筒以及压圈，准直透镜组包括依次设置的第一准直透镜，第一准直透镜为凹凸透镜；第二准直透镜，第二准直透镜为双凸透镜；第三准直透镜，第三准直透镜为双凸透镜；第四准直透...