一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构，包括壳体及设于壳体内的准直透镜组、汇聚透镜、DMD芯片组件，其特征在于，照明调节机构还包括有均活动安装于壳体内的第一反射镜和第二反射镜，经过所述准直透镜组的光依次经过所述第一反射镜、所述汇聚透镜及所述第二反射镜，准确地被传递至所述DMD芯片组件中；本实用新型专利技术中提供了一种激光投影镜头模组的多位可调的照明调节机构，不仅提高了折叠光路的可调节范围，还有效避免了外界空间限制对于投影镜头模组的影响，在安装使用空间受到限制的时候依旧可以通过调整单独的反射镜来实现折叠光路的调整，让光线最终被传递至DMD芯片组件中，大大提高了曝光机的调试效率和工作效率。和工作效率。和工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构


[0001]本技术具体涉及光学
，具体涉及一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构。

技术介绍

[0002]在微电子、光学、线路板等微加工领域，紫外曝光机具有非常重要的应用。传统掩膜式曝光机使用的是大尺寸平行紫外光源加掩膜的曝光形式。而目前现有无掩膜曝光机采用的是光源、光源准直系统、DMD芯片组件以及投影模组的结构，上述结构能够采用反射镜来折叠光路，用以减小曝光机的体积，并控制反射的光对准DMD芯片组件，但这要求反射镜及透镜的安装精度要非常的高，且适用范围也小；虽然可以设置单个可调节的反射镜，用以调整光线来对准DMD芯片组件，但在外界复杂的使用情景下，单个的可调节反射镜往往无法满足复杂多变的使用需求，适用范围同样不大，特别在安装使用空间受到限制的时候，单个的可调节反射镜也非常容易受到限制，导致难以调节或调节范围变小，非常不利于无掩膜曝光机的调试和使用。

技术实现思路

[0003]本技术为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。
[0004]一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构，包括壳体及设于壳体内的准直透镜组、汇聚透镜、DMD芯片组件，所述照明调节机构还包括有均活动安装于所述壳体内的第一反射镜和第二反射镜，经过所述准直透镜组的光依次经过所述第一反射镜、所述汇聚透镜及所述第二反射镜，准确地被传递至所述DMD芯片组件中。
[0005]进一步的，所述第一反射镜包括第一镜片及第一安装块；所述第一镜片固定于所述第一安装块上；所述第一安装块通过紧固件活动安装于所述壳体内。
[0006]进一步的，所述第二反射镜包括第二镜片及第二安装块；所述第二镜片固定于所述第二安装块上；所述第二安装块通过紧固件活动安装于所述壳体内。
[0007]进一步的，所述紧固件与所述壳体螺纹配合。
[0008]进一步的，所述第一镜片与水平面呈锐角夹角。
[0009]进一步的，所述第二镜片与水平面呈锐角夹角，且与第一镜片相对。
[0010]进一步的，所述准直透镜组包括若干在一条直线上依次设置的准直透镜。
[0011]进一步的，所述第一镜片与所述第二镜片之间的连线和所述准直透镜组所在的直线垂直。
[0012]进一步的，所述准直透镜组的上方还连接有匀光棒。
[0013]进一步的，所述DMD芯片组件与所述第二反射镜之间还设有镜头窗口。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术中提供的一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构通过设有的两个可调节的反射镜，增加了折叠光路的可调节范围，即使是在空间受限的情况下，依旧可以通过调节不同的反射镜来调节折叠光路，减少
了激光投影镜头模组受空间限制的影响，大大提高了激光投影镜头模组的调试效率和工作的效率，提高了设备的普适性，让设备可以应用于更多空间狭小受限的位置，同时叶降低了设备调试工作的难度。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本技术的整体结构示意图。
[0018]图2是本技术内部的局部结构示意图。
[0019]图3是本技术的光学结构图
[0020]图中：10、DMD芯片组件；20、镜头窗口；60、准直透镜组；70、汇聚透镜；80、第一反射镜；81、第一安装块；82、第一镜片；90、第二反射镜；91、第二镜片；92、第二安装块；100、匀光棒；200、壳体。
具体实施方式
[0021]下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1～3，本技术实施例中，一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构，包括壳体200及设于壳体200内的准直透镜组60、汇聚透镜70、DMD芯片组件10，照明调节机构还包括有均活动安装于壳体200内的第一反射镜80和第二反射镜90，经过所述准直透镜组60的光依次经过所述第一反射镜80、所述汇聚透镜70及所述第二反射镜90，准确地被传递至所述DMD芯片组件10中。
[0023]具体的，在使用的时候，准直透镜组60将激光进行准直处理后；第一反射镜80将准直透镜组60输出的准直后的光线反射，使得光线转折90度，折叠光路至汇聚透镜70处；汇聚透镜70汇聚光线并传递至第二反射镜90处；第二反射镜90则反射光线至DMD芯片组件10处。当最终的反射光线不在DMD芯片组件10上的时候，可以通过调整活动安装的第一反射镜80或第二反射镜90，使得光线最终可以被反射到DMD芯片组件10上。在激光投影镜头模组的安装及使用空间受到限制，特别是其中一个反射镜的调节受到限制，难以调节甚至无法调节的时候，工作人员依旧可以通过调节另外一个反射镜来调整光线至DMD芯片组件10上，其可适用的范围更广，受到空间的限制更小，更具有普适性，大大提高了调试效率及工作效率，同时叶降低了调试工作的难度。
[0024]第一反射镜80包括第一镜片82及第一安装块81；所述第一镜片82固定于所述第一安装块81上；所述第一安装块81通过紧固件活动安装于所述壳体200内。
[0025]第二反射镜90包括第二镜片91及第二安装块92；所述第二镜片91固定于所述第二安装块92上；所述第二安装块92通过紧固件活动安装于所述壳体200内。
[0026]具体的，在安装的时候第一安装块81通过紧固件安装在壳体200的内部，紧固件与壳体200螺纹配合，而第一安装块81则安装于紧固件的端部，第一镜片82安装于第一安装块81上；在使用时候，通过旋动紧固件来让第一安装块81相对于壳体200移动，来调整第一镜片82的位置，进而来调整折叠光路。第二反射镜90的安装与第一反射镜80的安装结构相同，位置不同，同样可以通过旋动紧固件来调整折叠光路，以让光线可以准确地进入到DMD芯片组件10中
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。
[0027]紧固件与所述壳体200螺纹配合。
[0028]第一镜片82与水平面呈锐角夹角。
[0029]第二镜片91与水平面呈锐角夹角，且与第一镜片82相对。便于光路的折叠反射，能有效的减小曝光机的体积。
[0030]准直透镜组60包括若干在一条直线上依次设置的准直透镜。用以准确地对外界光源输出的光线进行准直校准。
[0031]第一镜片8本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构，包括壳体及设于壳体内的准直透镜组、汇聚透镜、DMD芯片组件，其特征在于，所述照明调节机构还包括有均活动安装于所述壳体内的第一反射镜和第二反射镜；经过所述准直透镜组的光依次经过所述第一反射镜、所述汇聚透镜及所述第二反射镜，传递至所述DMD芯片组件中。2.根据权利要求1所述的用于激光投影镜头模组的照明调节机构，其特征在于，所述第一反射镜包括第一镜片及第一安装块；所述第一镜片固定于所述第一安装块上；所述第一安装块通过紧固件活动安装于所述壳体内。3.根据权利要求2所述的用于激光投影镜头模组的照明调节机构，其特征在于，所述第二反射镜包括第二镜片及第二安装块；所述第二镜片固定于所述第二安装块上；所述第二安装块通过紧固件活动安装于所述壳体内。4.根据权利要求3所述的用于激光投影镜头模组的照明调节机构，其特征在于，所述紧固件...

【专利技术属性】
技术研发人员：桂立，朱锦兵，
申请(专利权)人：苏州赛源光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：