本发明涉及光通信与集成光学技术领域，具体为一种Z切薄膜铌酸锂电光调制器，包括：衬底层，用于为整个器件提供机械支撑并辅助热管理；Z切铌酸锂功能层，通过光刻和干法刻蚀在Z切铌酸锂薄膜表面形成马赫‑曾德尔干涉仪结构光波导；氧化硅隔离层，由上、...

本发明涉及光通信与集成光学技术领域，具体为一种近化学比薄膜铌酸锂电光调制器，包括：衬底基底、SiO₂过渡介质层、近化学比铌酸锂薄膜、光波导结构、电极结构、SiO₂电极保护层，其中：衬底基底作为支撑结构；SiO₂过渡介质层形成于衬底基底的...