本发明涉及缺陷检测技术领域，具体公开了一种基于图像差分和阈值处理的高精度缺陷检测系统，包括配准图像获取模块、固定掩膜变换模块、图像差分检测模块、补正差分图生成模块以及缺陷集合输出模块；本发明先以形状特征完成仿射配准并将固定掩膜变为动态掩...