本申请公开了一种三坐标机，包括：三坐标机床身；平移台装置，安装在三坐标机床身上，平移台装置包括第一支架；平移配重装置，安装在三坐标机床身上，平移配重装置包括配重块；气浮台用于固定待测零件；气浮台俯仰装置，气浮台俯仰装置包括第二支架，第二...

本申请公开了一种综合测试台及负载质量修正方法，该综合测试台包括：转动惯量测试台，用于测量负载的转动惯量；质量质心测试台，安装在转动惯量测试台上，质量质心测试台包括称重组件，称重组件用于测量负载的质量和质心；测量模式切换组件，与质量质心测...

本实用新型提供了一种激光导航

本申请公开了一种角振动台，角振动台包括壳体

本申请公开了一种用于微波暗室测量的支撑转台，该支撑转台包括：偏航运动机构

本申请公开了一种质量特性测量的控制系统及质量特性测量方法，该系统包括：包括综合测试台控制装置、综合测试台、三坐标机控制装置、三坐标机，三坐标机控制装置用于控制三坐标机，综合测试台控制装置用于控制综合测试台；三坐标机控制装置包括：平动电机...

本申请公开了一种晶圆检测移动平台。晶圆检测移动平台包括载物平台、气浮运动机构、位置检测机构、辅助芯片、主控芯片。其中，载物平台用于放置待检测晶圆或晶圆检测设备，且载物平台连接于气浮运动机构。且载物平台还连接于位置检测机构，以通过位置检测...

本申请公开了一种角振动台，角振动台包括壳体、直线电机、负载盘和限位机构；直线电机的定子固定连接于壳体；负载盘可转动地设置于壳体，且负载盘连接于直线电机的动子，并可在直线电机的动子的带动下转动；限位机构与负载盘连接，用于限制负载盘的转动范...

本申请公开了一种气浮台。气浮台包括负载盘、气浮轴承组件、光栅组件和小角度测量组件；气浮轴承组件包括气浮轴和轴承座，气浮轴与负载盘相连，且气浮轴和轴承座之间可形成有气膜，以通过气膜产生抵消负载盘的重力而让负载盘浮起并围绕气浮轴自由转动；光...